航空航天应用包括 (1) 薄边界层流的主动控制,有可能消除传统的飞行控制面,减少阻力,提供按需升力,并提高压缩机、涡轮机和低可观测进气口的空气动力学性能,(2) 在单个芯片上完成惯性和导航单元,与传统系统相比,在尺寸、重量和成本方面具有重大优势,(3) 用于鱼雷应用的引信/安全和解除武装系统,(4) 使用微型燃料电池和微型发动机进行微型发电,用于潜在的独立传感器和执行器,具有无线通信,以及微型火箭、(5) 恶劣环境中的应用(例如高温、大量振动循环、侵蚀流和腐蚀性介质)以及 (6) 自主库存和存储环境监控以及使用寿命预测的应用。继这些 MEMS 应用之后,微光机电系统 (MOEMS) 在光通信和传感系统的背景下进行了描述。
摘要:微光机电系统(MOEMS)结合了微机电系统(MEMS)和微光学的优点,能够实现独特的光学功能,具有广泛的先进应用。硅基 MOEMS 通过简单的外部机电控制方法,如静电、磁或热效应,实现精确的动态光调制。本文简要回顾了硅基 MOEMS 的技术与应用,简要介绍了其基本工作原理、优点、常用材料和微加工制造技术,并介绍了微镜/微镜阵列、微光谱仪、光学/光子开关等先进硅基 MOEMS 器件的研究进展。由于硅基 MOEMS 在空间光调制和高速信号处理方面的独特优势,它们在光通信、数字光处理和光传感方面有着广泛的应用前景。最后对Si基MOEMS未来的研究和发展前景进行了展望。
现代信息技术的发展导致对具有复杂表面轮廓和纳米级表面粗糙度的微光学元件的需求巨大。因此,各种微纳加工技术被用于制造微光学元件和系统。飞秒激光直写(FsLDW)利用超快脉冲和飞秒激光的超强瞬时能量进行微纳加工。FsLDW表现出各种优异的性能,包括非线性多光子吸收、超越衍射极限的高精度加工和可加工材料的通用性,展示了其在三维(3D)微纳制造中的独特优势和潜在应用。FsLDW已在各种微光学系统的制造中展示了其价值。本研究详细介绍了FsLDW的三种典型原理、几种提高加工性能的设计考虑因素、可加工材料、成像/非成像微光学元件及其立体系统。最后,对FsLDW支持的微光学元件和立体系统的未来研究方向进行了总结和展望。
针对机载光电系统探测性能难以评估的问题,本文提出了一种红外与微光传感器目标信息融合检测概率的定量计算方法,从目标与背景的辐射特性、探测器的传输特性和成像特性3个方面分析了影响目标检测概率的因素,建立了目标信息融合检测概率计算模型,基于模糊贝叶斯网络理论,根据机载光电传感器目标特点及威胁效果,给出了目标威胁评估的模糊贝叶斯网络模型。实验结果表明,当融合质量因子小于1时,融合图像的质量与源图像相比有所下降;通过贝叶斯网络算法得到了目标威胁,对威胁评估过程的仿真证明了模型的有效性和结果的可靠性。所提出的方法可以计算机载光电系统图像融合的目标检测概率,并对目标威胁进行评估。 (2017年3月30日收到;2017年10月10日接受)关键词:目标信息融合,检测概率,威胁评估,机载光电
针对机载光电系统探测性能难以评估的问题,本文提出了一种红外与微光传感器目标信息融合检测概率的定量计算方法,从目标与背景的辐射特性、探测器的传输特性和成像特性3个方面分析了目标检测概率的影响因素,建立了目标信息融合检测概率计算模型,基于模糊贝叶斯网络理论,根据机载光电传感器目标特点及威胁效果,给出了目标威胁评估的模糊贝叶斯网络模型。实验结果表明,当融合质量因子小于1时,融合图像的质量与源图像相比有所下降;通过贝叶斯网络算法得到了目标威胁,对威胁评估过程的仿真证明了模型的有效性和结果的可靠性。本文提出的方法可以计算机载光电系统图像融合的目标检测概率,并对目标威胁进行评估。(2017年3月30日收到;2017年10月10日接受) 关键词:目标信息融合,检测概率,威胁评估,机载光电
微机电系统(MEMS)是指一组微秒和执行器,它们能够感知其环境,并能够通过微电路控制对环境的变化做出反应。除了传统的微电子封装外,它们还包括将用于命令信号的天线结构集成到微机电结构中,以实现所需的传感和致动功能。该系统还可能需要微电源、微继电器和微信号处理单元。微元件使系统更快、更可靠、更便宜,并能够集成更复杂的功能。20世纪90年代初,MEMS随着集成电路(IC)制造工艺的发展而出现,其中传感器、执行器和控制功能在硅片上共制。此后,在政府和工业界的大力推动下,MEMS的研究取得了显著进展。除了一些集成度较低的 MEMS 器件(如微加速度计、喷墨打印机头、投影微镜等)的商业化外,更复杂的 MEMS 器件的概念和可行性也已提出并得到验证,可用于微流体、航空航天、生物医学、化学分析、无线通信、数据存储、显示、光学等各个领域 [1,2]。MEMS 的一些分支,如微光机电系统 (MOEMS)、微全分析系统 (µ TAS) 等,由于其潜在的应用市场,已经吸引了大量的研究兴趣。截至
荣誉学位 :电子工程(5 年),主修光电子学 日期和地点:1989 年 7 月 14 日,巴勒莫大学 最后评价:满分,优异 论文及导师:激光直写微光刻工艺的开发和特性 S. Riva Sanseverino 教授和 C. Arnone 教授 政府资质:注册专业工程师,巴勒莫大学,1990 年 6 月 7 日 博士学位:电子、信息学和电信工程 日期和地点:1994 年 7 月 25 日,罗马 博士论文:激光直写微光刻:发展和新兴应用(巴勒莫大学) 现任职务:巴勒莫大学电子学副教授。担任过的相关职务: 2018年至今:负责控制论工程一级荣誉学位 2013-2016年:负责电子工程学位一级和二级 教学活动: 数字电子系统与实验室(2003年至今) 模拟与数字电子(2002-2005,2011) 电子设备(1993-1996 - 实验室) 意法半导体的“MOS结构:编程和擦除技术”。(1992) 硕士期间从事多项与智能建筑和能源效率相关的教学活动 主要活动:
雏菊家族,阿斯特拉科。该物种由Short(2009)描述为“多年生的根茎草药,俯卧,到50厘米长,无毛,除了非常偶尔的多细胞,圆锥形的腺体头发c。0.1-0.15毫米长。Leaves basal and cauline, alternate, lowermost leaves sometimes tapering to a petiole-like base but most leaves manifestly sessile and often subamplexicaul, somewhat narrowly oblong or narrowly elliptic or sometimes ovate-lanceolate to lanceolate or rarely a few oblanceolate, 11–38 mm long, 3.5–11 mm wide, leaf apices usually truncate and 3-dentate, the teeth of about equal length and宽度很少,很少逐渐缩小到一个点,否则叶边缘否则整个或有时在每个边缘上有1或2个额外的短而狭窄的横向叶,并且通常沿层长的长度沿着大约1⁄2左右,所有叶子都叶片柔软或边缘,偶尔的垂直茎的垂直腺体小于c。长0.1毫米。Capitula c。直径为6毫米,在肩cap上明显超过上叶。 片段的片段,重叠,卵形至披针形或椭圆形到狭窄的披针形,长2.2-2.5毫米,宽0.7-0.8毫米,宽,subobtuse,subobtuse,较薄的草药,主要是透明的,透明的,微光,几乎是散落的,除了散射的毛发毛发,除了散落的毛发毛发,均为斑点;立体观念分裂。 插座尺寸,是无毛的。 射线小花c。 40在最大的吉柱中;花冠c。 8.5毫米长,宽1.2–1.3毫米,白色,顶端有4个静脉。 Apex Untobed或2或3个几乎无法辨别的裂片;样式c。 1.45毫米长。 雄蕊5;细丝衣领几乎笔直或向底座扩张;花药1.25–1.36毫米长,Capitula c。直径为6毫米,在肩cap上明显超过上叶。片段的片段,重叠,卵形至披针形或椭圆形到狭窄的披针形,长2.2-2.5毫米,宽0.7-0.8毫米,宽,subobtuse,subobtuse,较薄的草药,主要是透明的,透明的,微光,几乎是散落的,除了散射的毛发毛发,除了散落的毛发毛发,均为斑点;立体观念分裂。插座尺寸,是无毛的。射线小花c。40在最大的吉柱中;花冠c。 8.5毫米长,宽1.2–1.3毫米,白色,顶端有4个静脉。 Apex Untobed或2或3个几乎无法辨别的裂片;样式c。 1.45毫米长。雄蕊5;细丝衣领几乎笔直或向底座扩张;花药1.25–1.36毫米长,圆盘小花也许c。最大的Capitula中有80个或更多;花冠带2.1–2.45毫米长,外部有散射的,长的,腺体的头发,5叶,黄色,没有顶毛的裂片,静脉延伸到裂片的顶点。
飞秒激光器由于其独特的特征(例如超短脉冲宽度和极高的峰值强度)开辟了新的材料加工途径,这为将各种材料加工到其他常规激光器提供了卓越的性能[1,2]。具体而言,飞秒激光处理的最重要特征之一是它能够通过抑制受热影响区域(HAZS)的形成,以高质量地进行超高精确的微型和纳米化。飞秒激光器广泛用于商业应用,包括电子,汽车和医疗组件的微加工和修剪;玻璃和蓝宝石基材的涂抹和划分智能手机和显示器;通过纳米结构的Si太阳能电池,硒化铜硅化铜,硒化铜和无机太阳能电池制造抗反射表面;微光发射二极管显示的缺陷修复和边缘切割;和医疗支架的制造。迫切要求提高吞吐量,以进一步加速其商业化和工业应用。可以想象,可以通过增加激光脉冲的强度和/或重复率很容易地增加吞吐量。然而,较高的强度遭受了血浆屏蔽的影响,降低了消融效率,并且由于沉积过量的能量而经常诱导热损害[3]。重复率高于数百kHz会诱导热量积累会产生较大的HAZ,这不适用于高精度或高质量的微分化[4]。他们称此过程消融冷却。这些结果具有ilday的小组最近证明,具有GHz重复率的飞秒激光脉冲的突发可以提高消融效率,如图1 [5]所示。他们声称,在先前的脉冲沉积的残留热量之前,将目标材料从加工区域扩散,以提高消融效率(一阶较高)。他们进一步声称,消融材料的物理去除将消融质量中包含的热能带走,导致高质量消融,没有热效应。
遗传编码的光遗传学执行器和荧光指标已成为脑活动相互作用的强大工具,因为它们能够控制和成像具有高细胞型特异性特异性和单细胞空间分辨率的神经元[1-3]。今天的光遗传学和功能性荧光想象的光学系统,例如多光子显微镜和可植入的光学材料,通常是由堆积的组件构建的,并且物理上大且复杂[4]。然而,硅(SI)集成光子学的进步导致纳米级波导和设备密集整合到达到毫米尺度的电路中,从而实现了综合功能[5,6]。因此,可以利用SI光子技术来创建微型神经生物学光学系统的纳米光子工具,并以批量操作性不可能的方式将光输送到脑组织中。一种方法是实现可植入的芯片尺度光子设备,这些设备在无法通过自由空间光学元件无法访问的深度(即超出光学衰减长度之外)的深度内传递和控制图案化的插图。沿着这些线路,纳米光量波导带有纤维耦合器(GC)光发射器[7-10]和微光发射二极管(µ LED)[11] [11]已集成到可植入的SI探针上。在脑组织中,由于光主要向前散射[12],因此可以在200-300 µm的距离内从GC中发出低差异束[7,8]。此外,正如Si光子束形成的最新进步所证明的[5,14,15],复杂的光栅和光子电路设计可以精确地与µ LED相对,基于纳米量波导的探针不会产生超过光本身引起的热量,可以更精确地量身定制光学发射功能,与晶圆尺度的铸造制造[9,13]兼容[9,13],并且可以达到高光源。