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World File Search System微制造
用于生物医学的聚焦压电超声换能器设计和微制造技术
1 上海交通大学先进微纳米制造技术国家重点实验室，上海 200240，中国 2 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系，上海 200240，中国 3 上海交通大学医学院、上海交通大学口腔医学院、国家口腔医学中心、国家口腔疾病临床研究中心、上海市口腔医学重点实验室，上海 200011，中国 4 新加坡国立大学电气与计算机工程系，4 Engineering Drive 3，117576，新加坡 5 新加坡国立大学传感器与微机电系统中心，4 Engineering Drive 3，117576，新加坡
惯性型静电换能器的 UV-LIGA 微制造及其应用
表 3-3 镍蛇形弹簧的设计常数 ...................................................................................... 35 表 3-4 与设备相关的设计常数 ...................................................................................... 40 表 3-5 继电器建模中使用的参数 ...................................................................................... 45 表 3-6 继电器建模中使用的参数 ...................................................................................... 53 表 3-7 加速度计建模中使用的参数 ............................................................................. 63 表 3-8 系统响应摘要 ............................................................................................. 63 表 4-1 主触点材料的电导率和电子平均自由程 ............................................................. 70 表 5-1 在不同电流密度下电镀镍的时间 ............................................................................. 87 表 5-2 镍电镀溶液的典型成分和操作条件 ............................................................................. 90 表 6-1 制造工艺特性摘要 ............................................................................................. 104 表 7-1 制造的微型继电器的特性 ............................................................................................. 120 表 A-1 推荐的软烘烤工艺 [MicroChem Inc.]............................................................. 144 表 A-2 曝光剂量与厚度的关系 [CAMD].............................................................................. 145 表 A-3 推荐的 PEB 工艺 [McroChem Inc.].............................................................. 146 表 A-4 氨基磺酸镍溶液............................................................................................... 147 表 A-5 镍盐的镍含量.................................................................................................... 151 表 A-6 厚度与曝光剂量的关系.................................................................................... 154
