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海洋环境监测的研究进步
海洋环境监测系统对研究人员具有重要意义，因为海洋是自然资源的仓库。理解和评估海洋的环境条件至关重要。在过去的几十年中，已经进行了几项研究，这些研究使用了复杂的信息和通信技术来确保海洋生态系统。无线传感器网络（WSN）是监视海洋环境的有前途的技术，它带来了巨大的好处，例如提高准确性和实时观察结果。传感器技术的进步，例如微电机电系统（MEMS），集成系统，分布式处理，无线通信和无线传感器应用程序，有助于WSN的开发。本文介绍了WSN的利用，并分析了通过WSN进行海洋环境监测的先前和现有项目的工作和技术，还包括用于监视各种海洋参数的MEMS传感器技术，例如海浪监测，水电导率，温度，温度，海洋深度。
MEMS高温梯度传感器用于高度湍流中的皮肤摩擦测量
摘要 - 本文介绍并讨论了使用MEMS（微电机电系统）获得的高温梯度传感器获得的结果，以在高度湍流中进行时间平均和波动的皮肤摩擦测量。设计为强大的壁挂式悬挂热线结构，使用传统的微观加工技术制造微传感器，该技术与微电脑兼容用于设计集成的智能系统。成功实施了两条风风隧道，在大量湍流中测试了该传感器，主流速度高达270 m/s（马赫数为0.79），这对应于客机巡游的平均速度。实验证明了微传感器的广泛动态范围，而没有达到其极限。微传感器因此表明了其在空气动力应用中测量湍流的价值，特别适合航空药物。
人为反应性氮的全球净气候效应
摘要：由于引人入胜的相变现象，二氧化钒（VO 2）中绝缘和金属相的稳定共存引起了重大研究的兴趣。但是，在VO 2的不同阶段，电荷载体的时间行为仍然难以捉摸。在此，我们采用近场光学纳米镜检查来捕获弯曲VO 2纳米梁中的纳米级交替相域。通过在不同阶段进行瞬态测量，我们观察到在VO 2的金属相中延长的载体重组寿命，并伴随着加速的扩散过程。我们的发现揭示了VO 2纳米梁中的纳米级载体动力学，提供了洞察力，可以促进对相变材料的进一步研究及其在感应和微电机械设备中的潜在应用。关键字：二氧化钒，应变工程，载体动力学，相变，S-SNOM■简介
中国的研究趋势用于微型微电子制造业的宏观微运动平台
摘要综合电路行业与中国的国民经济发展和安全国防有固有的联系。其产品质量和生产力作为瓶颈分辨率至关重要，取决于微电机设备运动平台的性能。但是，运动平台面临一系列要求，包括高加速度，超精确定位等。理论上可以通过典型的宏观微型驾驶概念平台来解决这些要求。因此，提出并实施了各种运动平台。在探索宏观微运动平台的分析过程中，特别是对于某些关键结构，例如链路框架，柔性铰链机制等，提出了许多有效的多物理耦合优化方法，以获得平台的出色性能。同时，描述了宏观微运动平台的振动抑制，以确保超专业定位。终于提出了发展趋势以及面临宏观微运动平台的问题。本综述将促进微电子制造设备的升级，并加速微电子制造业的快速发展。关键字：集成电路行业，宏观微型运动平台，高速加速，高速，
植被期间早期发现农业植物疾病的智能系统
摘要。本文提出了一个智能系统，用于在植被期间早期发现农业植物疾病。拟议的智能系统允许在早期发现三种类型的小麦疾病，尤其是黄生锈病，白粉病和septoria，并通过将有害化学物质仅在病植物上喷洒有害化学物质来显着改善土壤和生态。提出的疾病检测方法是基于基于C ++编程语言的Pycharm程序的卷积神经网络（CNN）的结构。智能系统的基本结构由Raspberry Pi 4模块，Raspberry Pi摄像头V2，蜂鸣器，HC-SR04距离传感器，转子驱动器，AC电机，电源，电源，继电器微电机和一些数字设备组成。关键字：植物性疾病，小麦，面粉露，黄点，septoria，图像，智能系统，传感器，神经网络，算法，微电子学，数字设备，框图。
通过薄膜中的反应性扩散硅氧化的机理 使用神经形态的癫痫发作检测 - Gibbs三重连接过剩测定的方法 专用于四销噪声噪声测量的低噪声和准理论直流电流源
摘要。在许多应用中引起了硅化的形成，尤其是在微电子中的接触形成和互连。在此主题上发表了一些评论，本章的目的是通过重点关注新的实验结果来提供这些评论的更新。本章在理解主要机制（扩散/反应，成核，横向生长…）方面给出了一些进展（即在4至50 nm之间）。提出了有关硅质形成机制的最新实验结果，并将其与模型和/或模拟进行比较，以提取与反应性扩散相关的物理参数。这些机制包括成核，横向生长，扩散/界面控制生长以及扩散屏障的作用。几种技术的组合（包括原位技术（XRD，XRR，XPS，DSC）和高分辨率技术（APT和TEM）被证明是必不可少的，这对于在薄膜中的固态反应中获得了理解，并更好地控制这些反应以在微电机设备或其他应用程序中接触或其他应用。
启用5G/mm波应用的低损坏薄玻璃解决方案
HIN玻璃基材，具有细透 - 玻璃玻璃V I A（T G V）T E C H N OL O G Y提供了有吸引力的射频（RF）前端/5G，晶片级包装，微电机械系统（MEMS）和系统集成的解决方案[1-5]。高质量的玻璃可以用非常薄的床单（<100µm厚）形成，可实现具有较小占地面积的解决方案，并消除了对后磨削操作的需求。玻璃的电气和物理特性具有许多有吸引力的属性，例如低RF损失，调节热膨胀性能的能力以及低粗糙度，具有出色的平坦度以实现细线/空格（L/ S）。此外，可以以面板格式制造玻璃，以降低制造成本。采用玻璃作为包装基材的最大挑战是供应链中存在差距，这主要是由于使用标准自动化和加工设备处理大型薄玻璃基板的难度。本文介绍了Viaffirm®临时键合技术，该技术允许在半导体工厂环境中处理薄玻璃基板，而无需修改现有设备。我们提供了处理技术及其优势的概述，并在供应链中实现了它的实现。
控制系统和电子仪器适用于轮椅活动中的自主权：最新状态
摘要：自动轮椅在仪器和控制方面发展起来，解决了身体残疾人的移动性问题。通过这项工作，旨在建立自动轮椅和原型的仪器和控制方法的背景，以及每个类别中的分类。为此，对2012年至2019年之间发表的文章进行了对专业数据库的搜索。在其中，根据包含和排除标准选择了97个文件。针对这些文章提出了以下类别：（a）轮椅仪器和控制方法，其中有一些系统可以实施微电机力学传感器（MEMS），表面肌电图（SEMG），电视学（EOG），电视学（EOG），电脑术（EEG）和语音认识系统； （b）轮椅仪器，其中包括发现障碍物检测系统，人工视觉（图像和视频）以及导航系统（GPS和GSM）。本综述中发现的结果倾向于使用EEG信号，头部移动，语音命令和算法以避免障碍。最常用的技术涉及使用经典控制和阈值来移动轮椅。此外，讨论主要基于用户的特征和控制类型。总而言之，这些文章在其设计中表现出了现有的局限性和可能的解决方案，并向物理残障社区告知了这一领域的技术发展。
微机电系统
目标 提供有关 MEMS 技术和制造的基本知识。 课程目标 本课程应使学生能够： 1. 了解微制造的演变。 2. 学习各种制造技术。 3. 了解微传感器和微执行器。 4. 学习各种微执行器的设计。 第一单元简介（9 小时） 基本定义 – 微制造的演变 – 微系统和微电子学，缩放定律：静电力、电磁力、结构刚度、流体力学和传热的缩放。 第二单元微传感器（9 小时） 简介 – 微传感器：生物医学传感器和生物传感器 – 化学传感器 – 光学传感器 – 压力传感器 – 热传感器、声波传感器。 第三单元微执行器（9 小时） 微驱动：使用热力、压电晶体、静电力进行驱动。基于 SMA 的微执行器，微执行器：微夹钳、微电机、微阀门、微泵、微加速度计 - 微流体。第四单元 MEMS 制造技术（9 小时）MEMS 材料：硅、硅化合物、压电晶体、聚合物微系统制造工艺：光刻、离子注入、扩散、氧化、CVD、溅射、蚀刻技术。第五单元微加工（9 小时）微加工：体微加工、表面微加工、LIGA 工艺。封装：微系统封装、基本封装技术、封装材料选择。
共同利益的重要项目
重要的欧洲利益（IPCEIS）的重要项目是欧盟国家援助法的相对未知的规定，似乎正在越来越多的政客和机构中获得支持。在雄心勃勃地追求欧盟“战略自治”中，它们可能是创建重要价值链并提高欧盟在行业，研究与发展和创新（R＆D＆D＆I）的重要领域的竞争力的有用工具。虽然在基础设施领域的前两个IPCEI在欧盟法院总法院都对（请参阅下面的“批准项目”）质疑，但接下来的两个，在微电机和电池价值链的战略领域中，似乎说明了知识和资源的主要价值之一。ipceis虽然不是“银弹”，但为旨在提高欧盟技术主权的复杂努力提供了一个有趣的选择。欧盟委员会强调，IPCEIS可以在刺激欧盟未来经济增长至关重要的政策和行动中发挥关键作用。因此，2018年3月，它建立了IPCEI战略论坛：一个高级专家小组，该小组聚集了成员国，行业和研究界的代表。论坛确定了欧盟中的关键战略价值链，并为欧盟，其成员国和行业之间的联合行动和投资提供了共同的愿景。仔细观察IPCEI概念