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文章 基于 MEMS 的压阻式压力传感器的机械膜片结构设计，以提高灵敏度和线性度 Phongsakorn
2 泰国微电子中心（TMEC）、国家电子和计算机技术中心、国家科学技术发展局、Chachoengsao 24000，泰国电子邮件：a s6209091960016@email.kmutnb.ac.th，b，* ekachai.j@tggs.kmutnb.ac.th（通讯作者），c hwanjit.rattanasonti@nectec.or.th，d putapon.pengpad@nectec.or.th，e karoon.saejok@nectec.or.th，f chana.leepattarapongpan@nectec.or.th，g ekalak.chaowicharat@nectec.or.th，h wutthinan.jeamsaksiri@nectec.or.th 摘要。本文针对低压工作范围提出了一种改进的微机电系统 (MEMS) 压阻式压力传感器设计，该传感器由花瓣边缘、横梁、半岛、三个横梁和一个中心凸台组合而成，以提高传感器性能，即灵敏度和线性度。利用有限元法 (FEM) 预测 MEMS 压阻式压力传感器在 1-5 kPa 施加压力下的应力和挠度。利用幂律制定纵向应力、横向应力和挠度的函数形式，然后将其用于优化所提设计的几何形状。仿真结果表明，所提设计能够产生高达 34 mV/kPa 的高灵敏度，同时具有 0.11% 满量程 (FSS) 的低非线性。半岛、三个横梁和中心凸台的设计降低了非线性误差。通过增加花瓣边缘宽度可以提高灵敏度。还将所提设计的传感器性能与文献中先前的设计进行了比较。比较结果表明，所提设计的性能优于先前的设计。关键词：MEMS、压阻式压力传感器、有限元法、灵敏度、线性度。
KV Agrawal
抽象残留应力可有利地用于永久预紧弯曲微型机制，以修改其挠度和刚度。本文提出了一种新的前加载雪佛龙机构（PCM），用于扩大薄膜残留应力的预加载效果。为评估该结构的预加载性能，通过实验研究了由PCM预装的弯曲梁和弯曲线性阶段的挠度特征。所有机制均使用深层反应离子蚀刻和残留应力由湿热氧化提供。测量结果表明，当PCM集成时，固定固定氧化硅扣的固定型固定硅弯曲梁最多可提高5倍。这项研究中研究的弯曲线性阶段由平行的叶弹簧阶段组成，该弹簧阶段与PCM预装的两个固定引导的弯曲梁相连。取决于光束尺寸，可以将阶段的翻译刚度设置为特定值。我们设计了一个接近零的正刚度线性阶段，揭示了98％的测得的刚度降低，并且具有恒定负刚度区域的双态线性阶段。多亏了PCM提供的升级前移位移，操作中风（刚度保持恒定的驱动区域）相对较大（超过0.4毫米的行程，叶子弹簧长度为2.59 mm）。为设计机制而进行的分析和数值模型与实验数据非常吻合。结果表明，由于PCM施加的强大力，固定帧刚度对预加载性能具有显着影响。此外，提出的预加载概念，建模和尺寸方法可以应用于其他合规机理的设计，尺度和材料，从而在微电机械系统和制表中实现了应用。
悬臂梁大挠度的校正方法...
摘要。基于模态的降阶模型因其在工程问题中的计算效率而成为结构建模的首选。经典模态方法的一个重要限制是它们是几何线性的。本研究提出了一种快速校正方法来解释由悬臂梁的大挠度引起的几何非线性。该方法依赖于预先计算的校正项，因此在时域响应分析期间增加的额外计算工作量可以忽略不计。在直梁模型和国际能源署 (IEA) 15 MW 风力涡轮机叶片模型上检验了该方法的准确性。结果表明，对于所研究的两种情况，所提出的方法显著提高了模态方法在轴向和扭转运动等非线性引起的二次挠度方面的准确性。
原创文章 基于轧制方向的铝板弯曲疲劳寿命研究
摘要 在室温下评估了 AA1100 和 AA1050 轧制铝板沿不同方向的高周疲劳 (HCF) 和低周疲劳 (LCF) 疲劳寿命。由于沿两个典型方向的样品表现出明显的各向异性，因此比较了四种类型的样品，分别表示为纵向 (L) 和横向 (T)。为此专门设计了悬臂平面弯曲和多类型疲劳试验机。在完全反向载荷下进行了挠度控制疲劳试验。AA1050 (L) 在 LCF 区域获得了最长的疲劳寿命，而 AA1100 (L) 样品在 HCF 区域具有最长的疲劳寿命。2016 亚历山大大学工程学院。由 Elsevier B.V. 制作和托管。这是一篇根据 CC BY-NC-ND 许可协议 ( http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ ) 开放获取的文章。
航空航天地面测试 | PCB Piezotronics
在新型飞机的开发初期，设计寿命或“预期寿命”目标（以飞行周期（起飞和降落）或飞行小时计算）就已经确定了。由于其极端的操作环境，军用战斗机的设计预期寿命可能只有数千个飞行小时。对于民用运输飞机，设计寿命目标通常为数万个飞行周期。在首次飞行之前，在对全尺寸飞机结构进行地面测试时，会积累大量此类周期。了解预期的飞行载荷谱可以实现机身的压力循环，以及机翼、尾翼和其他主要结构的液压载荷。大型数据采集系统可以监测施加的压力和载荷以及由此产生的结构挠度和应变。此过程通常会使用无损检测设备进行定期检查，以监测由此产生的裂纹扩展情况。
悬臂梁大挠度的校正方法...
摘要。基于模态的降阶模型因其在工程问题中的计算效率而成为结构建模的首选。经典模态方法的一个重要限制是它们是几何线性的。本研究提出了一种快速校正方法来解释由悬臂梁的大挠度引起的几何非线性。该方法依赖于预先计算的校正项，因此在时域响应分析期间增加了可忽略不计的额外计算工作。在直梁模型和国际能源署 (IEA) 15 MW 风力涡轮机叶片模型上检验了该方法的准确性。结果表明，对于所研究的两种情况，所提出的方法显著提高了模态方法在由于轴向和扭转运动等非线性引起的二次挠度方面的准确性。
基于轧制方向的铝板弯曲疲劳寿命研究
摘要 在室温下评估了沿不同方向轧制 AA1100 和 AA1050 铝板的高周疲劳 (HCF) 和低周疲劳 (LCF) 疲劳寿命。由于沿两个典型方向的样品表现出明显的各向异性，因此比较了四种类型的样品，分别表示为纵向 (L) 和横向 (T)。为此专门设计了悬臂平面弯曲和多类型疲劳试验机。在完全反向载荷下进行了挠度控制疲劳试验。AA1050 (L) 在 LCF 区域获得了最长的疲劳寿命，而 AA1100 (L) 样品在 HCF 区域具有最长的疲劳寿命。� 2016 亚历山大大学工程学院。由 Elsevier BV 制作和托管 这是一篇根据 CC BY-NC-ND 许可 ( http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ ) 开放存取文章。
航空航天地面测试 - PCB Piezotronics
在新型飞机的开发初期，设计寿命或“预期寿命”目标（以飞行周期（起飞和降落）或飞行小时计算）就已经确定了。由于其极端的操作环境，军用战斗机的设计预期寿命可能只有数千个飞行小时。对于民用运输机，设计寿命目标通常为数万个飞行周期。在首次飞行之前，在对全尺寸飞机结构进行地面测试时，会积累大量此类周期。了解预期的飞行载荷谱可以实现机身的压力循环，以及机翼、尾翼和其他主要结构的液压载荷。大型数据采集系统可以监测施加的压力和载荷以及由此产生的结构挠度和应变。在此过程中，通常会使用无损检测设备进行定期检查，以监测由此产生的裂纹扩展。
原创文章 基于轧制方向的铝板弯曲疲劳寿命研究
摘要 在室温下评估了 AA1100 和 AA1050 铝板沿不同方向的高周疲劳 (HCF) 和低周疲劳 (LCF) 疲劳寿命。由于沿两个典型方向的样品表现出明显的各向异性，因此比较了四种类型的样品，分别表示为纵向 (L) 和横向 (T)。为此专门设计了悬臂平面弯曲和多类型疲劳试验机。在完全反向载荷下进行了挠度控制疲劳试验。AA1050 (L) 在 LCF 区域获得了最长的疲劳寿命，而 AA1100 (L) 样品在 HCF 区域具有最长的疲劳寿命。2016 亚历山大大学工程学院。由 Elsevier BV 制作和托管 这是一篇根据 CC BY-NC-ND 许可 ( http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ ) 开放获取的文章。
微电动机械系统的设计四边形陀螺仪，具有合规机械放大
摘要：在这项工作中，提出了一种新型的MEMS振动陀螺仪的机械放大结构，目的是提高其灵敏度。该方案是使用微机械V形弹簧系统实现的，作为挠度放大机制。首先证明了该机制的有效性，用于电容式完全脱钩的四元陀螺仪。概念证明垂直轴机械放大的陀螺仪，已设计，模拟和制造365％的放大系数，并在本文中介绍了评估的结果。实验结果表明，陀螺仪的固有频率为11.67 kHz，全尺度测量范围为±400° /s，最大非线性为54.69 ppm。偏置稳定性为44.53° /h。实验结果表明，这种四边形陀螺仪的性能是将来达到导航等级的一种非常潜在的新方法。