III-V 半导体与硅外延杂化过程中的晶体相控制 Marta Rio Calvo、Jean-Baptiste Rodriguez *、Charles Cornet、Laurent Cerutti、Michel Ramonda、Achim Trampert、Gilles Patriarche 和 Éric Tournié * Dr. M. Rio Calvo、Dr. J.-B.罗德里格斯、 L. Cerutti 博士、 Pr. É. Tournié IES,蒙彼利埃大学,法国国家科学研究院,F- 34000 蒙彼利埃,法国 电子邮箱:jean-baptiste.rodriguez@umontpellier.fr , eric.tournie@umontpellier.fr Pr. C. Cornet 雷恩大学,雷恩国立应用科学学院,法国国家科学研究院,FOTON 研究所 – UMR 6082,F-35000 雷恩,法国 Dr. M. Ramonda CTM,蒙彼利埃大学,F- 34000 蒙彼利埃,法国 Dr. A. Trampert Paul-Drude-Institut für Festocorporelektronik,Leibniz-Institut im Forschungsverbund Berlin eV,Hausvogteiplatz 5-7,10117,柏林,德国 Dr. G. Patriarche 巴黎-萨克雷大学,法国国家科学研究院,纳米科学与技术中心纳米技术,91120,帕莱索,法国 关键词:外延生长,反相域,单片集成,III-V 半导体,硅衬底
高位率无线通信要求高频率[1],例如24-GHz WLAN [2],IEEE802.11AD [3]和24-29 GHz 5G手机[4]。高频无线系统中的必需电路块之一是电压控制的振荡器(VCO)。进行正交信号处理[5,6,7,8,9]的[5,6,7,8,9] [10,11,12,12,12,13,14,15,16,17],但是,高频率VCO通常需要一个非常非常高的CMOS技术和/或特殊QMOS技术和特殊的QMOS技术阶段[18] 噪音。 因此,他们的过程成本可能很高。 在这封信中,提出了使用相调整架构来抑制相位噪声的正交VCO。 可以在不增加过程成本的情况下实现此体系结构。进行正交信号处理[5,6,7,8,9]的[5,6,7,8,9] [10,11,12,12,12,13,14,15,16,17],但是,高频率VCO通常需要一个非常非常高的CMOS技术和/或特殊QMOS技术和特殊的QMOS技术阶段[18] 噪音。因此,他们的过程成本可能很高。在这封信中,提出了使用相调整架构来抑制相位噪声的正交VCO。可以在不增加过程成本的情况下实现此体系结构。
使用Tencor的HRP-250来测量轮廓。使用了来自Cabot的SS12和来自AGC的CES-333F-2.5。在将晶片粘合到粘合之前(氧化物到氧化物和面对面),将顶部晶圆的边缘修剪(10毫米),并同时抛光新的斜角。这可以防止晶片边缘在磨/变薄后突破[1]。将晶圆粘合后,将散装硅研磨到大约。20 µm。之后,通过反应性离子蚀刻(RIE)将粘合晶片的剩余硅移到硅硅基(SOI) - 底物的掩埋氧化物层(盒子)上。另一个RIE过程卸下了2 µm的盒子。之后,粘合晶片的晶圆边缘处的台阶高为3 µm。随后沉积了200 nm的氮化物层,并使用光刻和RIE步骤来构建层。此外,罪被用作固定晶片的si层的固定。必须将设备晶圆边缘的剩余步骤平面化以进行进一步的标准处理。为此,将剩余的罪硬面膜(约180 nm)用作抛光止损层。在平面化之前,将4500 nm的Pe-Teos层沉积在罪恶上。这有助于填充晶圆的边缘。在第一种抛光方法中,将氧化物抛光至残留厚度约为。用SS12泥浆在罪过的500 nm。在这里,抛光是在晶片边缘没有压力的情况下进行的。然后将晶圆用CEO 2泥浆抛光到罪。用CEO 2浆料去除氧化物对罪有很高的选择性,并且抛光在罪恶层上停止。第一种抛光方法花费的时间太长,将氧化物层抛光至500 nm的目标厚度。此外,在抛光SIO 2直到停止层后,用SS12稍微抛光了罪。最后,高度选择性的首席执行官2 -lurry用于抛光罪。结果表明,步进高度很好,但是弹药范围很高(Wafer#1)。第二种方法的抛光时间较小,并在500 nm上停在SIO 2上,而最终的抛光和首席执行官2 -slurry直至罪显示出良好的步进高度,并具有更好的罪恶晶圆范围(Wafer#2)。
摘要:在这项研究中,我们开发了一种热存储介质,其中包括充满有机相位变化材料(PCM)的多孔活性炭,该碳利用相变的潜热在冷却过程中吸收热量和释放热量。对于活化的碳,我们同时使用了基于木炭的粉状活性炭(250-350均)和颗粒状活性炭。实验中使用的有机相变材料是十二烷,三烷,四烷和五烷。材料特性,例如导热率,潜热和熔融温度范围,结果观察到结果是一致的。还评估了所提出的培养基的周期性热性能。值得注意的是,用有机PCM的混合物填充活化的碳导致最高的温度调节作用。这项研究中提出的程序和结果有望进一步改善含有稳定温度的PCM的热储存介质的性能,包括建立加热和冷却。
混凝土是最常见的建筑材料。混凝土类型丰富,配方取决于特定用途。混凝土的微观结构通常是强烈的异质性,具有水泥,细和粗骨料,充满空气的毛孔和各种增援。混凝土的计算模型通常会大大降低以确保安全性。更精确的模型可以从材料和CO 2排放方面巨大节省。通过3D计算机断层扫描(CT)观察到的原位机械测试,特别是观察到3D的裂纹起始和生长可以帮助改善这些模型。 大规模的CT系统gulliver专用于研究分别为6 m和1 m的现实大型混凝土束和宽度的疲劳动力学。 分析在原位弯曲测试中生成的图像数据需要特别可靠的检测和正确分割薄裂纹。 因此,最近比较了裂纹分割的算法[1],扩展到多尺度裂纹[2,3],适用于纤维增强的混凝土[4,5],甚至是新发明的[6,7]。 对于方法的公平定量比较以及机器学习模型的培训和开发,基于合成裂纹结构的半合成CT图像[8-10]至关重要。 首先,裂纹是作为分数布朗动作的实现[11]。 后来,由于其多功能性,首选由随机伏罗尼叶镶嵌物的小平面形成的最小表面[8]。 在[13,14]中研究了裂纹与混凝土微观结构之间的相互作用。通过3D计算机断层扫描(CT)观察到的原位机械测试,特别是观察到3D的裂纹起始和生长可以帮助改善这些模型。大规模的CT系统gulliver专用于研究分别为6 m和1 m的现实大型混凝土束和宽度的疲劳动力学。分析在原位弯曲测试中生成的图像数据需要特别可靠的检测和正确分割薄裂纹。因此,最近比较了裂纹分割的算法[1],扩展到多尺度裂纹[2,3],适用于纤维增强的混凝土[4,5],甚至是新发明的[6,7]。对于方法的公平定量比较以及机器学习模型的培训和开发,基于合成裂纹结构的半合成CT图像[8-10]至关重要。首先,裂纹是作为分数布朗动作的实现[11]。后来,由于其多功能性,首选由随机伏罗尼叶镶嵌物的小平面形成的最小表面[8]。在[13,14]中研究了裂纹与混凝土微观结构之间的相互作用。这些合成的裂纹结构可以模仿多种裂纹形态,包括局部厚度分布和分支,并具有几个程度的表面粗糙度,因为[12]很好地证明了。到目前为止,合成裂纹并未与将CT图像用作背景的混凝土的微观结构相互作用。特别是,将裂缝分类为周围的混凝土组件。这是通过两步过程实现的。首先,通过模板匹配对裂纹结构进行了分割。然后,根据模板的方向上的灰色值对裂纹进行分类。在这里,我们提出了一种依赖于分割裂纹和聚集体的方法。然后将裂纹分配给两个可能的类别之一:经晶(通过聚集体)或晶间(聚集体之间)。然后,经晶裂纹体素的相对数量产生了一个度量,以量化裂纹行为的差异。在这里,我们研究了相同组成的难治性混凝土样品,但在不同温度下被后加工(烧结)。在压缩应力下扫描样品。他们清楚地表明,裂缝确实与混凝土的微观结构相互作用,请参见图1。裂纹可能沿聚集体,通过它们或通过周围的水泥矩阵传播。在失败之前,分析载荷步骤的经晶和晶间体素的分数进一步量化了烧结温度的影响。我们在两个圆柱形耐火混凝土样品的示例中演示了这一分析,分别在1.000°C和1.600°C下烧结。最近,我们为裂纹结构设计了一种多功能几何模型[8,9],用于方法验证和比较以及机器学习方法的训练 - 由随机Voronoi Tessellation的相位形成的最小表面。最小表面计算的优化方法的改进版本可实现多标准优化[17]。在这里,我们利用了这种新的可能性来生成合成裂纹结构,该结构避免了聚集体或通过图1中的真实混凝土样品中观察到的。
第二个目标包括对不同钙化温度,异丙醇到氧气的效果的比较分析以及MCO 2 O 4催化剂的不同组成。这些测试是在相同的反应条件下进行的,以便能够在催化剂之间进行最可靠的比较。钙化温度的变化和反应物比的变化对反应结果没有显着影响。另一方面,不同MCO 2 O 4-催化剂的比较显示出与反应的产率和选择性的显着差异。铜催化转化器特别具有有希望的丙酮选择性。虽然NICO 2 O 4仅具有平庸的催化技能,但反应曲线显示出低于400°C的活性在低温下的峰值,与CO 3 O 4相似,表明具有反应性的表面中心或物种的特征性。这项研究提供了对CO 3 O 4催化剂催化行为的有价值的见解,但它也表明需要对经过测试的其他催化剂进行进一步检查,尤其是Cuco 2 O 4 -4 -NICO 2 O 4催化剂,这些催化剂在特定反应条件下显示出独特的机械特征。
Minagawa, K., Matsuzawa, Y., Yoshikawa, K. (1992) J. Polym. Sci. Part B: Polym. Phys. 30, 779 11) Minagawa, K., Matsuzawa, Y., Yoshikawa, K., Matsumoto, M. 和 Doi, M. (1991) FEBS. lett. 295, 67
6 天前 — (4)该人目前不属于防卫省暂停机关或航空自卫队参谋长发布的《装备等及服务采购暂停提名决定》所规定的暂停提名措施的对象。 (5)根据(4)的规定,...
gogotsi y,Anasori B.mxenes的兴起。acs nano。13(8):8491-8494,2019。