描述 - 新的 SME 添加到 ECCN 3B001 和 3B002 3B001.a.4 控制用于硅 (Si)、碳掺杂硅、硅锗 (SiGe) 或碳掺杂 SiGe 外延生长的设备 3B001.d 沉积设备 3B001.f 光刻设备 3B001.k 控制用于“EUV”掩模版多层反射器的离子束沉积或物理气相沉积的设备。3B001.l 控制“EUV”薄膜。3B001.m 控制用于制造“EUV”薄膜的设备。3B001.n 控制用于涂覆、沉积、烘烤或显影为“EUV”光刻配制的光刻胶的设备。3B001.o 使用指定参数控制半导体晶圆制造退火设备。 3B001.p 对三种半导体晶圆制造清洗及移除设备的控制
(绝缘体和开关) 硅晶锭:是由直径为 8 至 12 英寸、长度约为 12 至 24 英寸的硅晶体组成的棒。 切片机:这些圆柱体被切成薄片 毛坯晶圆:这些圆柱体是高度抛光的晶圆,厚度不到四十分之一英寸。 20 到 40 个处理步骤:晶圆要经过多步光刻工艺,电路所需的每个掩模都要重复一次。每个掩模定义组成完整集成电路的晶体管、电容器、电阻器或连接器的不同部分,并定义制造器件的每个层的电路图案。 图案化晶圆:晶圆上的图案与掩模的精确设计一致
摘要 - 背面照明(BSI)3D堆叠的CMOS图像传感器对于包括光检测和范围(LIDAR)在内的各种应用中引起了重大兴趣。这些设备的3D集成中的重要挑战之一涉及单个光子雪崩二极管(SPAD)晶圆的良好控制的背面稀疏,后者堆叠着CMOS WAFERS。背面晶圆稀疏通常是通过硅的回培养和掺杂敏感的湿化学蚀刻的组合来完成的。在这项研究中,我们开发了一种基于量身定制的HF:HNO 3:CH 3 COOH(HNA)化学的湿蚀刻过程,能够在P+/P硅过渡层中实现蚀刻层,具有高掺杂级别的选择性(> 90:1)。在300毫米晶片中证明了〜300 nm的极佳总厚度变化的可行性。此外,还表征了包括染色和表面粗糙度在内的HNA蚀刻硅表面的众所周知的特性。最后,提出了一种湿的化学尖端方法来减少表面粗糙度。
*通讯作者:nima.gorji@tudublin.ie摘要 - X射线衍射(XRD)映射是一种非破坏性计量技术,可以通过热机械应力重建在硅晶片上引起的经线的重建。在这里,我们使用基于X和Y方向的一系列线扫描以及同一样品的不同90度旋转的方法绘制了晶圆的扭曲。这些线扫描从晶圆的表面收集摇摆曲线,记录由于表面不良导致的衍射角(ω)偏离了布拉格角。表面经线通过诱导测得的衍射角与参考角度角度(ω -ω0)和摇摆曲线扩展(FWHM)之间的差异来反映XRD测量。通过收集和整合摇摆曲线(RCS)和FWHM从整个表面和晶圆的多个旋转范围扩大,我们可以生成表面函数f(x)的3D地图和角度的不良方向(Warpage)。经线表现出凸形,与文献中报道的光学验证测量值对齐。基于实验室的XRDI有可能在较短的时间内和原位绘制晶圆的翘曲,这可以在同步加速器辐射源中完美地执行。关键字:计量学,硅,扭曲,X射线衍射,晶圆。I.简介
邀请演讲i主持人:郑恪亭郑恪亭14:00–14:30 Go Watanabe教授(渡边渡边) / Kitasato University讲题IP-01 IP-01通过计算 - 科学14:30-14:30-14:50-14:50- / ip-02 ip-ip-02 and topolicy dopodical dopodical defaction:10:10:14: IP-03使用有机橡胶分子15:10-15:30 Pravinraj Selvaraj /中央大学光电系中央大学光电系中央大学光电系IP-04革命性极化控制:在扭曲的nematic nematic Liquid Crystals < / div>中革命光学活性,IP-03 IP-03无接触均匀的液晶对齐
摘要:硫族相变材料 (PCM) 在非挥发性的非晶态和结晶态之间具有很大的光学特性差异,引起了人们对其在长期接近零功耗的超紧凑光子集成电路中的应用的浓厚兴趣。然而,在过去十年中,PCM 集成光子器件和网络受到各种常用 PCM 本身巨大光学损耗的困扰。在本文中,我们重点研究了一种新兴低损耗相变材料 Sb 2 Se 3 在硅光子平台上的沉积、特性和单片集成。蒸发的 Sb-Se 薄膜的非晶相和结晶相之间的折射率对比度被优化到 0.823,而椭圆偏振法测得的消光系数保持小于 10 − 5。当集成在硅波导上时,非晶薄膜引入的传播损耗可以忽略不计。结晶后,磁控溅射Sb-Se贴片覆盖硅波导的传播损耗低至0.019 dB/µm,而热蒸发贴片覆盖硅波导的传播损耗低于0.036 dB/µm。
在过去五年中,中国人民解放军 (PLA) 在采用人工智能进行战斗和支援方面取得了重大进展。中国领导人普遍预计人工智能将开启军事“智能化”,其特点是无处不在的传感器网络、更频繁的机器对机器交战和更快的作战节奏。1 但解放军在人工智能和相关技术方面的进步很大程度上取决于能否继续获得一类特殊的半导体——人工智能芯片——这些芯片用于训练先进的机器学习系统。通过分析解放军部队和国有国防企业在 2020 年授予的 24 份公共合同,本政策摘要对中国军方如何获得这些设备进行了有限但详细的分析。
晶体管诞生 75 周年(从“跨阻放大器”缩写为“跨阻器”再缩写为“晶体管”)。时光飞逝。这是一个非凡的量子物理学小片段。2022 年,晶体管将像病毒一样大小,速度几乎与光速一样快,而且重要的是,它们巧妙地拥有放大这一独特黄金属性,可使微小的电压和电流变得更大。到 2022 年,地球上将有超过 10 24 个晶体管,这得益于摩尔定律所体现的令人瞠目结舌的指数增长模式。晶体管在现代生活中无处不在,无论技术提供者还是消费者是否看到它们。当然,“晶体管”一词应该添加到地球上每个人的词汇表中。同样,从智能手机到汽车、飞机、互联网、GPS,所有现代技术,如果从地球上消失,无一例外都会立即停止运行。事实上,就其对人类文明轨迹的影响而言,人们可以公平地说,晶体管的发明是人类历史上最重要的发现。这话很大胆,但有理有据 [1]。1947 年底,巴丁和布拉顿在贝尔实验室使用点接触装置首次观察到了晶体管的作用。这次固态放大器的演示在历史记录中也是独一无二的,因为我们可以精确地定位它——1947 年 12 月 23 日下午 5 点左右。正是在那一刻,世界发生了不可逆转的变化。新泽西州默里山正下着雪。肖克利不甘示弱,到 1948 年 2 月,“晶体管三人组”中的第三位成员肖克利开发出了晶体管。