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硅基微纳技术与应用...
摘要：微光机电系统（MOEMS）结合了微机电系统（MEMS）和微光学的优点，能够实现独特的光学功能，具有广泛的先进应用。硅基 MOEMS 通过简单的外部机电控制方法，如静电、磁或热效应，实现精确的动态光调制。本文简要回顾了硅基 MOEMS 的技术与应用，简要介绍了其基本工作原理、优点、常用材料和微加工制造技术，并介绍了微镜/微镜阵列、微光谱仪、光学/光子开关等先进硅基 MOEMS 器件的研究进展。由于硅基 MOEMS 在空间光调制和高速信号处理方面的独特优势，它们在光通信、数字光处理和光传感方面有着广泛的应用前景。最后对Si基MOEMS未来的研究和发展前景进行了展望。
Mubashir Bashir、Afnan Asad 和 Raof Ahmad Khan，“MEMS 技术 - 扩展优势和问题概述”，《国际科学杂志》
缩小尺寸是人们追求的目标。不幸的是，现实情况并非如此。确实，没有什么可以阻止人们缩小设备组件的尺寸，从而使设备变小。但是，缩小许多物理量会产生严重的物理后果。本文将介绍微机电系统 (MEMS) 中可用的缩放机制。它是一种技术，其最一般的形式可以定义为使用微加工技术制造的微型机械和机电元件（即设备和结构）。MEMS 设备的关键物理尺寸可以从尺寸谱下端的远低于 1 微米一直到几毫米不等。同样，MEMS 设备的类型可以从相对简单的没有移动元件的结构到具有多个移动元件的极其复杂的机电系统，这些元件受集成微电子控制。MEMS 的一个主要标准是至少有一些元件具有某种机械功能，无论这些元件是否可以移动 关键词 — 集成电路 (IC)；MEMS；缩放。
欧洲芯片法案和 AHSI – FMD 试验线
HDML：高密度多层 TF：薄膜 HD：高密度 RF：射频 VCSEL：垂直腔面发射激光器 SiP：系统级封装 SMD：表面贴装器件 RDL：重分布层 TSV：硅通孔 MEMS：微机电系统 3D AM：3D 增材制造
参考项目：柏林德意志剧院的设施管理依赖于Verso®Cliq
使用Verso®CLIQ锁定系统，Deutsche Theatre的设施管理依赖于机电系统系统，该系统将最优质的微电子与智能数据加密整合到高质量的机械锁定缸系统中。verso®Cliq易于操作，并且出于许多原因。例如，系统管理员无需单独激活每个锁定缸即可更换电池。电源和通信 -
微/纳米器件和系统的制造 - UF ECE
地点：拉森 239 学期：2022 年秋季 讲师：杰克·朱迪 jack.judy@ufl.edu M：352-672-1787 办公时间：有待 助教/同伴导师/指导教学 学生：无 课程描述（3 个学分）：微系统和纳米系统制造简介，例如微机电系统 (MEMS) 和纳米机电系统 (NEMS)，它们用于许多不同的应用（物联网、生物医学、航空航天、汽车、环境、国防、生物识别网络安全等）。主题包括缩放定律、用于生产 MEMS/NEMS 的许多微/纳米加工工艺、工艺集成、封装和其他制造问题。课程先决条件/共同必修课程初等微分方程、大学物理和普通化学 1，或经讲师许可。课程目标 由于微系统和纳米系统有广泛的应用（例如，电子、机械、生物医学、环境等的传感和驱动），本课程旨在教授来自不同背景的学生如何通过整合各种不同的微/纳米加工方法来制造微系统和纳米系统。将详细描述微系统和纳米系统生产所特有的许多不同的微/纳米制造步骤。 材料和供应费用 无。 必修教科书和软件
南洋理工学院
• 航空电子学/航空电子学（辅修商业管理） • 航空技术/航空技术（辅修商业管理） • 视听技术/视听技术（辅修商业管理） • 自动化机电系统/自动化机电系统（辅修商业管理） • 生物医学工程/生物医学工程（辅修商业管理） • 建筑服务工程 • 业务流程与质量工程 • 化学工程 • 化学与生物分子工程 • 土木与环境工程 • 清洁能源管理 • 电气工程/电气工程（辅修商业管理） • 电气与电子工程 • 电子工程 • 电子与计算机工程/电子与计算机工程（辅修商业管理） • 电子与电信工程 • 工程科学 • 环境工程 • 环境与水技术 • 互联网与通信 • 物流管理 • 物流工程与管理 • 海洋与近海技术/海洋与近海技术（辅修商业管理） • 机械工程/机械工程（辅修商业管理） • 机电一体化工程/机电一体化工程（辅修商业管理） •网络系统与安全 • 产品设计与创新 • 质量保证工程 • 质量管理与工程 • 造船与海洋工程 • 造船与修理技术 • 可持续城市设计与工程
MEMS 设计和制造 EE4390 – CRN 27275 – ...
课程描述：本课程旨在向学生介绍微系统的理论、设计、模拟、制造和特性。本学期，课程将重点介绍微机电系统 (MEMS)，学生将学习基本制造技术、MEMS 设备设计和 MEMS 设备模拟。在课程的一部分中，学生还将在 UTEP 的半导体洁净室工作，在那里他们将学习流程并制造他们的 MEMS 设备。制造完成后，学生将对其设计进行特性描述，并向全班展示。课程先决条件：（EE 3325 w/C 或更高以及 EE 3329 w/C 或更高）EE5390 - 研究生水平的学生：参加本课程研究生部分的学生将被要求完成一份额外的报告，并在学期末提交。课程网站：Blackboard 将用于共享演示文稿和讲义的电子副本。教科书：Eun Sok Kim 博士，《微机电系统 (MEMS) 基础》，第 1 版，McGraw Hill，ISBN：9781264257584 UTEP 学生可通过 VPN 获取该教科书的电子版：www.accessengineeringlibrary.com/content/book/9781264257584
内部实习生B.Eng。电子和计算机工程（ECE）
以及电子和计算机工程师所需的科学和数学基础知识，它开发了面向对象和嵌入式软件，电子电路分析和设计以及控制系统设计方面的专业知识。学生学习如何建模和分析广泛的技术系统的动态，并将熟练在模拟和数字系统，微电子系统，机电系统，计算机架构，电气磁学和超高速度通信等主题中。一些关键领域包括：
机械工程技术选修课
ME 672 & L 复合材料制造 ME 673 工程材料回收 ME 680 & L 激光材料加工与设计 ME 702 能源与可持续性 ME 709 损伤生物力学 ME 710 机械工程师的六西格玛 ME 719 基本燃烧理论 ME 725 机械振动与声学 ME 728 高级电子材料 ME 729 & L 计算机辅助机械系统分析 ME 730 工程系统建模 ME 731 热交换器的高级设计 ME 737 机器人与控制 ME 739 高级机械设计 ME 745 热系统设计 ME 747 基于微计算机的机械系统 ME 749 FEM 在机械工程中的应用 ME 750AE 流体流动与热传递的计算建模 ME 750AF 自动驾驶汽车 ME 750AG 室内空气污染与模拟 ME 750AI 材料相变 ME 752 失效分析方法与工具 ME 753 能源系统的先进材料 ME 758 非线性控制机电系统 ME 760 断裂力学 ME 762 聚合物复合材料 ME 775 微机电系统简介 ME 782 CFD 和传热的工程应用