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World File Search System椭圆偏振
通过椭圆偏振光谱法现场监测 Sb 离子注入单晶 Ge 过程中的无序和空腔演变
Tivadar Lohner 1 、Attila Németh 2 、Zsolt Zolnai 1 、Benjamin Kalas 1 、Alekszej Romanenko 1 、Nguyen Quoc Khánh 1 、Edit Szilágyi 2 、Endre Kótai 2 、Emil Agócs 1 、Zsolt Tóth 3 、Judit Budai 4,5 、Péter Petrik 1,* 、Miklós Fried 1,6 、István Bársony 1 和 † József Gyulai 1
使用彩色皮秒声学和椭圆偏振光谱法对薄树脂膜进行弹性和热弹性表征
彩色皮秒声学 (CPA) 和光谱椭圆偏振术 (SE) 相结合，测量沉积在 300 毫米晶圆上的聚合物薄膜树脂的弹性和热弹特性。使用 SE 测量膜厚度和折射率。使用 CPA 根据折射率测量声速和厚度。比较两种厚度可以检查两种方法之间的一致性。然后在 19 ◦ 至 180 ◦C 的不同温度下应用相同的组合。随着样品被加热，厚度和声速都会发生变化。通过分别监测这些贡献，可以推导出声速温度系数 (TCV) 和热膨胀系数。该协议适用于目前微电子工业使用的不同薄膜树脂制成的五种工业样品。杨氏模量在不同树脂之间相差高达 20%。每种树脂的 TCV 都很大，并且从一个树脂到另一个树脂的相差高达 57%。
3.9 微米处的电离率和等离子体动力学......
19. Mur, VD, Popruzhenko, SV & Popov, VS 强激光辐射电离条件下光电子的能量和动量谱（椭圆偏振的情况）。《实验与理论物理杂志》92，777（2001 年）。
3.9 时的电离率和等离子体动力学......
19. Mur, VD, Popruzhenko, SV & Popov, VS 强激光辐射电离条件下光电子的能量和动量谱（椭圆偏振的情况）。《实验与理论物理杂志》92，777（2001 年）。
BHARAT TANDON 博士 - Milliron 研究小组
材料特性 材料制造和加工 电子显微镜 (SEM、TEM、STEM) 胶体纳米晶体合成 光谱 (UV-Vis-NIR、FTIR、Raman、XAS) 热注射和慢速注射合成 元素分析 (ICP-AES、EDX、XPS) 配体交换和表面改性 动态光散射 刮刀涂布和旋涂 粉末 X 射线衍射 射频溅射 AC/DC 电子测量 电子顺磁共振光谱 光谱椭圆偏振法 光谱电化学
纳米级时间相关电介质击穿 (nanoTDDB ...
新沉积的介电材料的质量控制是 nanoTDDB 使用的另一个例子。具体来说，当使用原子层沉积 (ALD) 制备薄氧化膜时，需要对该过程进行微调以产生可重复的结果。这里用 ALD 制备二氧化硅膜，并用椭圆偏振法测量其厚度。由于在晶圆的不同位置观察到一些膜厚度变化，因此使用 Jupiter XR AFM 进行 nanoTDDB 测量以测量膜的电性能。使用 AFM 软件中编程的自动程序在晶圆的各个位置进行测量。
香港城市大学提供的课程大纲...
第三部分 其他资料（更多详情可于教学计划中另行提供） 1. 关键词大纲（列出本课程的主要主题。） ● 材料特性 ● 分析技术概览 ● 显微镜 ● 光谱学 ● 光学显微镜 ● 电子显微镜：扫描和透射 ● 扫描探针显微镜 ● 电子探针微分析 ● X 射线衍射 ● 离子束技术 ● 二次离子质谱法 ● 卢瑟福背散射光谱法 ● 霍尔效应 ● 电容-电压测量 ● 塞贝克效应 ● 分光光度法 ● 光谱椭圆偏振法 ● 调制光谱法 ● 光致发光 ● X 射线光电子能谱法 2. 阅读清单 2.1 必读内容（必读内容可以包括书籍、书籍章节或期刊/杂志文章。城大图书馆还提供电子书、电子期刊。）
微观领域的研究助理教授职位...
- 压电能量收集器的数值和分析能量性能建模； - 基于压电的 μEnergy 收集器布局设计； - 准备技术文件（带有制造配方的工艺流程）； - 在高洁净度实验室中制造 μ-电子设备（在洁净室工作，处理专门的和先进的制造基础设施/机器）； - 对制造的设备进行电气（交流和直流下的 IV、CV 和 4 线电阻测量）和分析（扫描电子和光学显微镜、轮廓仪、椭圆偏振仪、AFM）特性描述； - 分析和数据处理； - 编写技术和实验报告； - 在公认的科学期刊上准备自己的和为共同的科学出版物做出贡献； - 在国内和国际科学会议框架内准备自己的和为共同的科学传播做出贡献； - 主管分配的职责范围内的其他任务。