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World File Search System气相扩散
Centrotherm Centronic扩散管炉
扩散炉是一个热处理单元，具有圆柱加热室，可以水平或垂直定向。由于等距表面辐射热量，因此可以通过出色的热均匀性处理圆形工件。它们也可以在部分真空条件下发挥作用，以确保整个操作中的大气控制。这对于确保蒸气相扩散到固态半导体的情况下而无需引入不良杂质的最佳条件至关重要。
Sika®FerroGard®-903+
渗透深度现场勘察和实验测试表明，Sika® FerroGard®- 903+ 可以每天几毫米的速度渗透混凝土，一个月内渗透深度约为 25 至 40 毫米。渗透速度可能更快或更慢，具体取决于混凝土的孔隙率。Sika® FerroGard®-903+ 可通过液相和气相扩散机制渗透。注意：如果在使用 Sika® FerroGard®-903+ 后，混凝土表面涂有保护涂层（水泥基、丙烯酸或浸渍）或疏水浸渍，则抑制剂的扩散速度会降低但不会停止，因为扩散机制在气相中继续。由于混凝土的质量和渗透性不同，建议通过 Sika®“定性分析”进行一些初步的深度剖面测试，以评估具体的渗透速度。
在高宽高比结构中对原子层沉积过程中的不完全结合性进行建模
原子层沉积允许精确控制膜厚度和形式。它是高纵横比结构（例如3D NAND记忆）的关键推动因素，因为它的自限性行为比传统过程更高的合并性。然而，随着纵横比的增加，经常发生与完全保征的偏差，需要全面的建模以帮助开发新技术。到此为止，我们为存在不完整的整合性的原子层沉积过程中提供了一个模型。该模型结合了基于Knudsen扩散和Langmuir动力学的现有方法。我们的模型通过（i）通过Bosanquet公式融合了气相扩散率以及在Yanguas-Gil和Elam首先提出的建模框架中的反应可逆性，以及（ii）有效地集成在级别设定的地形模拟器中。该模型在侧面高纵横比结构中手动校准了Al 2 O 3的原型原子层沉积结果。我们研究了h 2 o步的温度依赖性，从而提取了0的活化能。178 eV与最近的实验一致。在TMA步骤中，我们观察到Bosanquet公式的精度提高，并以相同的参数集复制了多个独立的实验，这突显了模型参数有效地捕获了反应器条件。