氧化铟锡

具有 3D 波浪图案表面的可拉伸基板可增强氧化铟锡电极的机械稳定性

柔性电子设备在可穿戴设备、植入式设备、机器人和显示器等许多未来技术中都有着广阔的应用前景。在各种机械柔性中，可拉伸性是一项重大挑战。一个特别艰巨的目标是实现一种高性能透明电极，这种电极既能承受拉伸，又能大规模生产，同时又能避免对设备密度产生额外的限制。在这项研究中，通过对 3D 波纹图案和平面表面的统计比较，证明了 3D 波纹图案表面使沉积的氧化铟锡电极的应变性能提高了三倍，其中氧化铟锡电极被拉伸至电气故障。此外，该平台减轻了残余薄膜应力，使基板的处理更加容易。这项研究证明了使用可扩展平台实现未来电子设备可拉伸性的可行性，该平台仅使用常规材料和制造步骤就结合了高性能透明电极材料。