Charavel, R. 等人。下一代深沟槽隔离,适用于具有 120 V 高压设备的智能电源技术。微电子可靠性 50,1758–1762(2010 年)。Voldman, SH 新型接触式多晶硅填充深沟槽 (DT) 偏置结构及其电压偏置状态对 CMOS 闩锁的影响。2006 年 IEEE 国际可靠性物理研讨会论文集 151–158(2006 年)。doi:10.1109/RELPHY.2006.251208。
西弗吉尼亚州特别工作组 1 补充申请名称:____________________________________ 日期:_____/_____/_____ 主办机构:_________________________________ 职位:_________________ 紧急服务年限:________ 下面勾选的所有证明都必须附上证书复印件作为支持。最低要求: 消防员 I: 消防员 II: 急救/心肺复苏术: EMT:FR: EMT:B: EMT:I: EMT:P: 危险品行动: 危险品技术员: 危险品专家: 专业: _________________ 绳索救援行动/LA: 绳索救援行动/HA: 绳索救援意识: 绳索救援技术/LA: 绳索救援技术/HA: 密闭空间意识: 密闭空间行动: 密闭空间技术: 沟槽救援意识: 沟槽救援行动: 沟槽救援技术: FEMA US&R 定位“在线”课程: 佛罗里达结构倒塌意识“在线”课程: 结构倒塌行动: 结构倒塌技术: 急流意识: 急流行动: 急流技术: 船员: 自动救援行动:自动救援操作:自动救援技术:
这是一个复杂的安装过程,具有独特的要求,包括沿着四英里长的铁路和公路开挖沟槽,并埋设管道组和使用管道垫片。Champion Fiberglass 管道重量轻,易于进入沟槽,便于安装。(其他类型的管道,如 PVC,会更重。)此外,Champion Fiberglass 还创建了定制弯头,这在安装的某些阶段非常有用。简而言之,玻璃纤维管道重量轻且易于安装,有助于快速无缝地完成这种长距离埋地安装。
图 3 HER 记录 图 4 先前的考古调查 图 5 地球物理调查解释图 图 6 覆盖在地球物理调查结果上的评估沟槽平面图 图 7 覆盖在评估沟槽平面图上的考古兴趣区 图 8 拟议开发项目中显示的考古兴趣区 图 9 拟议开发项目中显示的考古兴趣区——北部地区 图 10 拟议开发项目中显示的考古兴趣区——中部地区 图 11 拟议开发项目中显示的考古兴趣区——东部地区
最近,人们对将微机电系统 (MEMS) 与驱动、控制和信号处理电子设备进行单片集成的制造工艺产生了浓厚的兴趣。这种集成有望提高微机械设备的性能,并降低制造、封装和仪表化这些设备的成本,方法是将微机械设备与电子设备在同一制造和封装过程中结合起来。为了保持模块化并克服 CMOS 优先集成方法的一些制造挑战,我们开发了一种 MEMS 优先工艺。该工艺将微机械设备放置在浅沟槽中,对晶圆进行平面化,并将微机械设备密封在沟槽中。然后,在将设备嵌入沟槽后进行高温退火,然后再进行微电子加工。这种退火可以消除微机械多晶硅的应力,并确保与微电子加工制造相关的后续热处理不会对多晶硅结构的机械性能产生不利影响。然后,这些带有已完成的平面化微机械器件的晶圆被用作传统 CMOS 工艺的起始材料。该工艺的电路成品率已超过 98%。本文介绍了集成技术、该技术的改进以及器件特性的晶圆级参数测量。此外,本文还介绍了使用该技术构建的集成传感器件的性能。
摘要 - 与平面,沟槽和双层建筑的不同商业SIC Power MOSFET上进行了加速陆生中子辐照。结果用于计算海平面上的故障横截面和时间(拟合)率。增强的门和排水泄漏,这些设备在暴露期间没有表现出破坏性故障。特别是,对于平面和沟槽栅极MOSFET观察到了不同的机制,第一个显示部分闸门破裂,其中主要是漏极和栅极之间的泄漏路径,类似于以前在重离子上观察到的,而第二个则显示出完整的栅极破裂。讨论了有关不同技术的观察到的故障机制和射线后栅极应力(猪)测试。
横截面 HAADF-STEM 图像和相应的 EDS 图,显示了交替堆叠的 TiO 2 和 SiO 2 层以及单层 Al 2 O 3,全部通过等离子 ALD 在纳米级沟槽结构上生长。
3D NAND垂直堆栈缩放缩放量主要是在膜沉积和蚀刻方面引起的挑战,这与设备通过功能尺寸减小进行缩放不同。与图案,隔离并连接垂直集成的3D存储器设备,需要难以高纵横比(HAR)蚀刻。通常将孔或沟槽的纵横比定义为深度与孔或沟槽宽度的比率。3D NAND制造中的关键过程包括替代堆栈膜沉积,高纵横比蚀刻和文字线金属化。找到位密度,读写速度,功率,可靠性和成本之间的平衡对于应用至关重要。当我们在结构中添加更多层,并且还有额外的资本支出,随着层的数量增加,增加更多的存储容量变得越来越昂贵。
图5(a)显微镜顶视图在左键的发射极接触与右键的基本接触之间的互连。可以通过Su-8填充材料看到奇异的沟槽和基本前接触。(b)扫描电子显微镜倾斜的铝互连视图,该视图沉积在Su-8