随着 CMOS 技术缩放即将达到基本极限,对具有较低工作电压的节能器件的需求巨大。负电容场效应晶体管 (NCFET) 具有放大栅极电压的能力,成为未来先进工艺节点的有希望的候选者。基于铁电 (FE) HfO 2 的材料具有令人印象深刻的可扩展性和与 CMOS 工艺的兼容性,显示出将其集成到 NCFET 中以实现纳米级高性能晶体管的可行性。由于引入了 NC 效应,基于 HfO 2 的 NCFET 中的短沟道效应 (SCE) 与已经经过广泛研究的传统器件不同 [1]。具体而言,漏极诱导势垒降低 (DIBL) 在决定 SCE 的严重程度方面起着关键作用,在 NCFET 中表现出相反的行为。尽管人们已认识到施加电压对 NCFET 性能的影响 [ 2 ],但栅极电压扫描范围(V GS 范围)对先进短沟道 NC-FinFET 中的 DIBL 的影响仍然缺乏研究。
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注:1. 数据是在 1 英寸 2 FR-4 板上贴片测试的,铜厚 2OZ 2. 数据是在脉冲下测试的,脉冲宽度≤300μs,占空比≤2% 3. 由设计保证,不受生产影响
注:1. 数据是通过安装在 1 英寸 2 FR-4 板上(2OZ 铜厚)进行测试的 2. 数据是通过安装在建议的最小 FR-4 板上进行测试的 3. 数据是通过脉冲测试的,脉冲宽度≤300μs,占空比≤2% 4. 由设计保证,不受生产影响
注:1. tp=10us,占空比 = 1%。2. 数据通过建议封装上的表面贴装测试获得。3. 数据通过脉冲测试获得,脉冲宽度 ≤ 300μs,占空比 ≤ 2%。4. E AS 数据显示最大额定值。测试条件为 V DD = 30V,V GS = 10V,L = 1mH,I AS = 35A。5. 理论上数据与 ID 和 I DM 相同,实际应用中应受总功率耗散限制。6. 器件安装在 FR-4 基板 PC 板上,2oz 铜,对底层 1 英寸见方铜板进行热偏置
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FINE MADE MICROELECTRONICS GROUP CO., LTD. 9926A./P ( 文件编号: S&CIC2077) 20V N 沟道增强型 MOS 场效应管