金属天花板面板表面涂层,置于悬挂式钢格栅上,按照欧洲标准和 TAIM 标准生产。天花板系统 Line 80S Type 2 具有高气密性,易于清洁和消毒。设计符合 GMP 和 DIN EN ISO 14644 标准。表面平整、齐平,适合齐平安装,不含任何排气或颗粒发射材料。天花板接缝可选用适合洁净室的密封剂密封。
盒式天花板采用粉末涂层天花板盒,按照欧洲标准和 TAIM 标准制造。Clip K3 天花板系统的特点是密封性高,易于清洁和消毒。符合 GMP 和 DIN EN ISO 14644 的设计。表面光滑、均匀,允许齐平安装,不含排气或颗粒发射材料。天花板接缝的密封性通过适合洁净室的密封实现。
高温高效过滤器有耐温250℃、350℃、450℃三种规格,350℃高温过滤器主要用于金属器皿、器械零部件的无热原干热灭菌柜的灭菌,用于安瓿瓶或青霉素瓶的灭菌隧道灭菌炉等对送风温度、洁净度要求较高的场合。
● 所有成分均满足USP 6级塑料制品在121℃生物测试特性的要求和美国联邦法规(CFR)第21章相关规定中所列的食品接触材料的要求,并符合中国《饮用水设备及防护材料卫生安全性评价标准》(2001)对饮用水输送和分配设备的要求。
• Complete transparency at all times • Room-related electronic cleaning and training plans (with images/pictograms if required) in accordance with your SOPs • Ensure compliance with all your cleaning frequencies • Real-time management & real-time insight into the training status of employees • Reduction of manual documentation errors & time expenditure • Immediate generation of reports for internal controls, audits and inspections • Direct exchange & cooperation with your contact person at the cleaning service provider
AMHS 是现代晶圆厂的重要组成部分。AMHS 有多种实施类型。这些实施可以包括以下一个或多个系统:自动导航车 (AGV)、轨道导航车 (RGV)、高架提升车 (OHV) 和高架运输 (OHT) 系统。AGV 和 RGV 系统在较旧的 200mm 晶圆厂中更常见,而 OHV 和 OHT 系统在 300mm 晶圆厂中更常见。在图 1 中,我们展示了一个包含 OHV 和 OHT 系统的 AMHS 示例。在 300mm 晶圆厂中,结合这些系统,晶圆在一个称为前开式统一吊舱 (FOUP) 的封闭容器中进行处理和运输(FOUP 将在本演示的后面部分详细介绍)。FOUP 使用高架提升转运车 (OHT) 系统从一个晶圆厂处理工具运输到另一个晶圆厂处理工具。 AMHS 的主要集成商 Daifuku 表示,在大型工厂中,OHT 行驶轨道可延伸至 10 公里,最多可容纳数百辆车。为了让一切协调一致,工厂使用各种组合