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液体流量控制器 (LFC) 液体流量计 (LFM)
LFC 内的柱塞式控制阀由脉冲宽度调制 (PWM) 信号控制，该信号实际上改变了施加到阀门上的平均能量。在没有电源的情况下，弹簧会迫使柱塞向下，推动阀座上的精密密封件，从而实现可靠关闭。当能量添加到电路中时，柱塞会顶住弹簧，从而允许液体流量增加。控制阀的设计针对摩擦进行了优化，并根据用户的确切工艺参数进行尺寸调整。
液流量控制器（LFC）液流量计（LFM）
LFC内部的柱塞类型控制阀由脉冲宽度调节（PWM）信号控制，该信号实际上会改变施加到该阀的平均能量。没有电力的弹簧迫使柱塞向下推动阀座上的精密密封，以可靠地关闭。随着能量被添加到电路中，柱塞会在弹簧上升高，并允许液体流量增加。控制阀的设计针对摩擦进行了优化，并根据用户的确切程序参数进行大小。
数字质量流量控制器 - 1579A/B 型 - Ideal Vacuum
在本仪器操作的所有阶段，必须遵守以下一般安全预防措施。不遵守这些预防措施或本手册其他地方的特定警告将违反仪器预期用途的安全标准，并可能损害设备提供的保护。MKS Instruments, Inc. 对客户未能遵守这些要求不承担任何责任。
MKS Instruments 的 piMFC 压力不敏感质量流量控制器
下一代 MKS π MFC（质量流量控制器）包括功能和性能方面的技术改进，可帮助半导体和高纯度薄膜应用中的用户提高工具吞吐量并降低整体系统成本。通过先进的数字算法提供对上游和下游压力扰动不敏感的实时精确流量控制。通过实现对工艺气体流量的实时控制，与传统的基于 PID 的数字 MFC 相比，其准确性和重复性得到了显着提高，从而实现了更好的腔室匹配。