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World File Search System电容器板
静电驱动 MEMS 悬臂梁建模
顾名思义，悬臂梁 MEMS 开关是一种由机械位移控制的电开关。它由两个主要部分组成：底座和悬臂梁（图 1）[1]。悬臂梁由导电材料制成（或其一部分，取决于设计），通常是铝。底座上沉积有一层导电材料层。在设备的这两个导电部分之间施加电压后，形成一个有限平行板电容器 [2, 3]，由于电容器板之间的静电吸引力 [4, 5]，悬臂梁开始向底座弯曲。悬臂梁以弹性反作用力 [6] 作出反应，并在两个力抵消的位置停止。在某个电压（驱动电压）[7–10] 下，力之间的平衡变得不稳定，悬臂梁在底座上坍塌 [11]，从而建立电容器板之间的接触并闭合电路。在该模型中，认为下电极上没有沉积介电层（因此极化电荷可以忽略不计 [12]）。新的理论模型考虑了有限平行板电容器中的边缘效应。将理论上获得的驱动电压与计算机模拟的 MEMS 设备驱动电压进行了比较。
ASTM E1019-11
11. 测试方法摘要 11.1 碳在氧气流中燃烧转化为二氧化碳。 11.1.1 热导率测试方法——二氧化碳被适当等级的沸石吸收，通过加热沸石释放，并被氦气或氧气吹入色谱柱。洗脱后，在热敏电阻型电导池中测量二氧化碳的量。参考图 1。 11.1.2 红外线 (IR) 吸收，测试方法 A——二氧化碳的量通过红外线 (IR) 吸收来测量。二氧化碳 (CO 2 ) 吸收红外光谱中精确波长的红外能量。当气体通过传输红外能量的池体时，此波长的能量被吸收。所有其他红外能量都被精确的波长滤波器消除，不会到达检测器。因此，红外能量的吸收只能归因于 CO 2 ，其浓度通过检测器上的能量变化来测量。一个电池既用作参比室，又用作测量室。在一段时间内，对总碳（以 CO 2 表示）进行监测和测量。参见图 2。11.1.3 红外 (IR) 吸收，测试方法 B — 检测器由一个 IR 能量源、一个独立的测量室和参比室，以及一个用作平行板电容器一个板的隔膜组成。在样品燃烧过程中，CO 2 及其氧气载体流过测量室，而只有氧气流过参比室。来自 IR 源的能量穿过两个室，同时到达隔膜（电容器板）。部分 IR 能量被测量室中的 CO 2 吸收，而穿过参比室时则不会被吸收。这会造成到达隔膜的 IR 能量不平衡，从而使隔膜变形。这种变形会改变固定电容，产生电信号变化，该变化被放大以用于测量 CO 2 。在一段时间内，对总碳（以 CO 2 表示）进行监测和测量。参考图 3。