人们正在考虑在下一代光刻节点中使用 Ta 基吸收体的替代品,以减少 3D 掩模效应并通过相位干涉改善图像调制。低复折射率 (n-ik) 材料可以在比传统吸收体所需厚度更薄的情况下提供相移行为,本质上充当衰减相移掩模 (attPSM) 膜。确定 attPSM 吸收体厚度和随之而来的相位需要确定最佳相移掩模反射率。使用高反射率吸收体进行成像可显示出更好的成像性能。吸收体厚度是在干涉效应导致高吸收体反射率的地方确定的。因此,低折射率 (n) 材料是理想的 attPSM 吸收体候选材料。使用维纳边界和有效介质近似 (EMA) 建模确定的低 - n 材料组合使用吸收体反射率在线空间和接触孔图案针对 NILS 和 MEEF 进行优化。使用反射近场强度成像将接触孔最佳厚度的吸收体候选物与传统的 Ta 基吸收体进行了比较。
在 T lab . = 10 MeV 时的相移。在拟合中,我们考虑 ˆ C 1 S 0 = C 1 S 0 − C 3 P 1 和 ˆ C 3 S 1 = 3 C 3 S 1 − 3 C 1 P 1 。
简单来说,天线阵列的不同元件接收相同的信号,其相移取决于元件与信号源之间的距离差。该相移得到补偿,并将产生的信号相加,从而产生朝向卫星的波束。零点也可以朝向干扰源形成。先前对波束成形的研究已经产生了大量知识。Krim 和 Viberg(1996 年)以及 van Veen 和 Buckley(1988 年)都对用于波束成形的自适应算法提供了一般全面的概述。Granados(2000 年)的论文涵盖了专门针对 GNSS 的自适应算法,而 De Lorenzo(2007 年)实施了 STAP(时空自适应处理)算法,目的是满足航空母舰着陆的准确性和完整性要求。
我们提出了一种在碰撞的早期和中间阶段使用实时演变提取散射过程相移的方法,以估算波数据包的时间延迟。使用渐近外态行为无法达到的嘈杂量子计算机时,此过程很方便。我们证明,在状态制备中涉及的具有挑战性的傅立叶变换,可以在1 + 1个维度中实施,并使用当前捕获的离子设备和IBM量子计算机实现。我们比较了在单粒子量子力学限制中获得的时间延迟和可伸缩量子场理论公式的量子计算与准确的数值结果。我们讨论了连接时间延迟到相移的Wigner公式中的有限体积效应。报告的结果涉及两量和四量计算,我们讨论了在不久的将来进行大规模计算的可能性。
收到2007年9月26日; 2008年2月15日修订; 2008年2月18日接受;发表于2008年3月4日(文档ID 87957);发表于2008年3月31日,我们描述了一种扫描源源式光学相干断层扫描(OCT)系统,该系统启动了高速全速成像。我们实施了一个压电纤维担架,以在连续的A扫描之间产生定期的相移,从而引入了横向调制。然后,通过在轴向方向处理数据之前,在横向方向上执行傅立叶过滤来解决深度歧义。DC工件也被删除。关键因素是压电纤维担架可用于以高重复速率生成离散的相移。提出的实验设置是先前报道的B-M模式扫描光谱域OCT的一个改进版本,因为它不会产生其他伪像。这是一个简单且低成本的解决方案,可轻松应用伪影。©2008美国光学协会OCIS代码:110.4500,170.4500,100.5070。
180 度混合耦合器设计为在 5 至 10 GHz 频率范围内小型化,求和端口相移为 0 度,差分端口相移为 180 度。小型化可以最大限度地降低功耗,而无源元件可以解决微带线基板材料复杂的可达性问题!将在 Cadence 中选择和设计电感器的金属层,并确定金属的磁导率和介电常数。设计过程从先进设计系统 (ADS) 中的环形混合耦合器微带线开始,到集总无源元件,再到 Cadence 中的有源 65nm CMOS 实现。仿真结果显示,通过中心抽头电感的材料在 EMX 仿真后产生了寄生电感,使感兴趣的频率带宽向左移动 1GHz。无源电路的正向增益为-10dB,回波损耗约为-6dB。已进行文献研究以缩小混合耦合器的体积并分析其性能参数。最终结果表明,仅使用了四个无源元件,覆盖了感兴趣的频带5GHz。
摘要。下一代极端紫外线(EUV)系统具有0.55的数值,具有提供低于8 nm的半程分辨率的潜力。在较小的特征尺寸下,随机效应的重要性增加了扫描仪和掩模以提供高对比度图像的进一步需求。我们使用严格的面膜衍射和成像模拟来了解EUV掩模吸收器的影响,并确定用于高NA EUV成像的最合适的光学参数。对各种用例和材料选项的仿真表示两种主要解决方案类型:高灭绝材料,尤其是针对线条空间,以及可以提供相移遮罩溶液的低折射率材料。euv相掩码的行为与DUV的相移面膜大不相同。精心设计的低折射率材料和口罩可以为高对比度的边缘打开新的道路。©作者。由SPIE发表在创意共享归因4.0未体育许可下。全部或部分分发或重新分配或重新分配本工作,需要完全归因于原始出版物,包括其DOI。[doi:10.1117/1.jmm.m.19.4.041001]
Josephson与拓扑绝缘子作为其弱连接(S-TI-S结)的连接被预计将托管Majorana Fermions,这是为拓扑保护受拓扑保护的量子计算创建量子的关键。但是S-Ti-S电流相关的细节及其与磁场的相互作用尚不清楚。我们用NBTI导线制造了一个BI 2 SE 3连接,并使用施加的平面内字段来测量连接处的Fraunhofer图案。我们观察到,不对称的fraunhofer图案出现在B z,b x,y的电阻图中,并带有基因区的节点间距。这些不对称模式即使在零平行场中也出现,对于高达1 K的温度,它们也会与异常特征与预期有限的库珀配对动量移动和几何效应的不对称Fraunhofer模式进行比较。我们表明几何效应可以主导,而与平面场地幅度无关。这些结果对于将几何相移与库珀对动量转移,Majorana模式特征或其他非常规的超导行为而导致的几何相移很重要。