我们将介绍一种新的芯片优先 FOWLP 替代方案,该替代方案可满足大量需要 FOWLP 等封装技术的应用的需求。这种新封装已在 ASE 投入生产一年多,并使用“芯片最后”方法来解决增加可用互连焊盘面积的问题。已用铜柱 (Cu) 凸块凸起的芯片被批量回流到低成本无芯基板上,然后进行包覆成型,该包覆成型也用作芯片底部填充。Cu 柱允许以 50 µm 或更小的间距直接连接到芯片焊盘,从而无需在芯片上形成 RDL。使用嵌入式迹线允许细线和间距低至 15µm 或更小,并直接键合到裸铜上。Cu 柱键合到铜迹线的一侧,焊球或 LGA 焊盘直接位于铜的另一侧。这使得基板实际上只与走线中使用的铜一样厚,并使最终封装的厚度达到 400µm。由于这使用现有的大批量封装基础设施,因此可以轻松实现更复杂的组装,包括多个芯片、包含无源元件和 3D 结构。我们将此封装结构指定为“扇出芯片后封装 (FOCLP)”对于高端应用,我们将展示使用高密度基板工艺用于要求更高的芯片后扇出封装的能力关键词芯片先、芯片后、扇出、晶圆级封装
摘要 - 本文展示了一种下一代高性能3D包装技术,其外形较小,出色的电性能以及异质整合的可靠性。高密度逻辑记忆集成主要是使用插入器建造的,这些插入器从根本上受到限制的组装螺距和互连长度有限,并且随着包装尺寸的增加,它们也具有范围。另一方面,高频应用继续使用层压板,这些层压板也受到包装大小和集成许多组件的能力的限制。Wafer级风扇外(WLFO)包装承诺以较低的成本以较低的成本进行更好的表现和外形,但是当前的WLFO包装是基于模具的,因此仅限于小包装。本文提出了使用玻璃面板嵌入(GPE)的3D包装技术,以实现高性能,并具有大型体型异质整合应用的潜力。玻璃热膨胀的可量身定制系数允许大型GPE包装的可靠直接板连接,这不仅使外形速度和信号速度有益,而且还为动力传递提供了根本的好处。与插入器和硅桥不同,GPE软件包不是颠簸限制的,并且可以支持与后端的I/O密度,而硅状的重新分布接线则以较低的成本为单位。本文描述了3D GPE的制造过程,从而在40- m m i/o处使用芯片嵌入具有300- m m音高的TGV的芯片,从而导致技术的固定,从而启用双层RDL和芯片,以实现三个级别的设备集成。通过参数过程改进来解决当前有机WLFO包装等基本限制,以及较差的尺寸稳定性,以将模具转移降低到<2 m m,同时还可以改善3D包装的粉丝范围内的RDL表面平面性,以改善高产量的细线结构,并通过玻璃(TGV通过玻璃(TGV)集成)。
(Cohen 等人,1971 年);演示了基于空间的甚长基线干涉测量 (VLBI),由此明确表明违反了逆康普顿极限并对中央发动机中发生的物理过程进行了约束(Levy 等人,1986 年、1989 年;Linfield 等人,1989 年);首次探测到恒星形成过程中的坠落和由内而外的坍缩过程(Velusamy、Kuiper 和 Langer,1995 年;Kuiper 等人,1996 年);通过在行星状星云 IC 418 中探测到 3 He + 的超细线,证明在恒星结构和银河系化学演化的理解方面仍然存在差距(所谓的“ 3 He 问题”)(Guzman-Ramirez 等人,2016 年)。 DSN 天线在建立和维护国际天体参考框架 (ICRF,Fey 等人,2015 年;Charlot 等人,2020 年) 的实现方面也发挥了不可或缺的作用。ICRF 不仅是用于指定所有天文源坐标的定义框架,它还作为参考,深空航天器的天空平面位置是根据该参考来确定的,用于导航 NASA 的深空任务。本文的重点是被动射电天文观测、太阳系以外的物体或太阳系外的天体,包括天文测量观测。太阳系天体的雷达天文观测超出了本文的范围,但 Dvorsky 等人 (1992 年)、Slade 等人 (2011 年) 和 Rodriguez-Alvarez 等人 (2021 年) 及其参考文献对此进行了描述。出于类似的精神,本文不描述 DSN 天线的传输能力。这些材料中的大部分也在 DSN 的《电信接口》(2019 年)中的一系列文件中介绍过,这些文件俗称 810-005(其中模块 101、104 和 211 与射电天文观测最相关),但这里采用的是一种更适用于射电天文观测的方式。
具有竹节粒结构、顶部覆盖 Al 3 Ti 层并以 W 柱终止的 Al(Cu) 细线是 Si 集成电路中越来越常见的一类互连线。这些线易受跨晶电迁移引起的故障影响。电迁移引起的应力演变可以用一维扩散-漂移方程建模,该方程的解需要了解传输参数。通过开发和执行使用在氧化 Si 基板上制造的单晶 Al 互连线的实验,明确地确定了 Al 中 Al 和 Cu 的跨晶扩散和电迁移特性。在顶部覆盖多晶 Al 3 Ti 覆盖层的钝化 Al 单晶线(2.0 μm 宽,0.4 μm 厚)上进行了加速电迁移寿命测试。覆盖层由 Al 与 Ti 覆盖层的反应形成。电迁移引起失效的激活能确定为 0.94±0.05 eV。以前对没有 Al 3 Ti 覆盖层的 Al 单晶的研究得出的激活能为 0.98±0.2 eV,寿命相似。结论是,Al 3 Ti 覆盖层不会影响跨晶电迁移的动力学和机制。此外,这些结果表明,单晶 Al 互连线电迁移引起失效的限速机制不是扩散,或者令人惊讶的是,Al 沿 Al/Al 3 Ti 界面的扩散率大约等于或低于 Al 沿 Al/AlO 界面的扩散率。还通过实验研究了 Cu 在单晶 Al 线中的扩散和电迁移特性。测试结构由平行线(5.0 μm 宽,0.4 μm 厚)组成,交替线终止于共用接触垫。铜被局部添加到所有线的相同区域,并通过分析 Cu 的浓度分布来表征温度和电流密度的影响
(A) 果蝇 (Drosophila melanogaster) 和菠萝蜜 (D. ananassae) 中 Myc 基因组邻域的同源性比较。细箭头表示果蝇 (D. melanogaster) (顶部) 和菠萝蜜 (D. ananassae) (底部) 中目标基因 Myc 所在的 DNA 链。指向右侧的细箭头表示 Myc 在菠萝蜜 (D. ananassae) 和果蝇 (D.melanogaster) 中位于正 (+) 链上。指向与 Myc 相同方向的宽基因箭头相对于细箭头位于同一链上,而指向 Myc 相反方向的宽基因箭头相对于细箭头位于相反链上。果蝇 (D. ananassae) 中的白色基因箭头表示与果蝇 (D. melanogaster) 中相应基因的直系同源性。 D. ananassae 基因箭头中给出的基因符号表示 D. melanogaster 中的直系同源基因,而基因座标识符特定于 D. ananassae。(B)GEP UCSC Track Data Hub 中的基因模型(Raney 等人,2014 年)。D. ananassae 中 Myc 的编码区显示在用户提供的 Track(黑色)中;CDS 用粗矩形表示,内含子用细线表示,箭头表示转录方向。后续证据轨迹包括 NCBI RefSeq 基因的 BLAT 比对(深蓝色,D. ananassae 的 Ref-Seq 基因比对)、D. melanogaster 蛋白质的 Spaln(紫色,D. melanogaster 的 Ref-Seq 蛋白质比对)、TransDecoder 预测的转录本和编码区(深绿色)、成年雌性、成年雄性和沃尔巴克氏体治愈胚胎的 RNA-Seq(分别为红色、浅蓝色和粉色;D. ananassae 的 Illumina RNA-Seq 读数比对)以及使用 D. ananassae RNA-Seq 由 regtools 预测的剪接点(Graveley 等人,2011;SRP006203、SRP007906;PRJNA257286、PRJNA388952)。显示的剪接点的读取深度 >1000,支持读取为红色。(C)果蝇 Myc-PB 的点图(x 轴)与
b,EGFR-PTP相互作用网络的方案。配体EGFR(E P)与PTPRG(P RG)和PTPN2(P n 2)相互作用。配体EGFR(E -E P)促进E p的自催化。因果链接 - 纯黑线;弯曲的箭头线 - 扩散,PM-质膜,ER-内质网。另见图1-图1B。C,在细胞极化过程中信号诱导的形状变化。箭头:局部边缘速度方向。Zoom:细胞的粘弹性模型 - 弹性和粘性元件的平行连接。P总计:总压力; V:当地的内存速度; L:粘弹性状态。粗字母:向量。细胞膜轮廓:[0,2π]。d,顶部:空间EGF分布的计算机演变。底部:EP的Kymograph for Handomation在(b)中网络的反应扩散模拟中的临界性。三角形 - 梯度硬化。e,用(c)中的模型获得的颜色编码E P的相应示例性细胞形状。f,顶部:颞pro纤维e p(黑色)和e -e p(灰色)。绿色阴影区域:EGF梯度存在。底部:具有表示捕获状态空间区域(彩色)和相应时间尺度的系统的状态空间轨迹。另请参见图1-视频1。厚/细线:信号前置/缺失。g,在e示例中的硅细胞形态变化中的定量变化。三角形 - 梯度持续时间。h,左:与G中相同,只有从同一方向用两个连续的动态梯度(三角形)刺激时。第二梯度在第一个的内存阶段。另见图1-图1d。右:第二个梯度(橙三角形)的方向相反。另见图1-图补充1E。虚线:g。平均值±S.D.显示了n = 3。参数:方法。在(D-H),绿色(橙)/红线:刺激存在/不存在。
深度学习使研究人员能够从果蝇、老鼠甚至人类中生成越来越复杂的连接组。这些数据可以帮助神经科学家了解大脑的工作原理,以及大脑结构在发育和疾病过程中的变化。但神经连接并不容易绘制。2018 年,利希特曼与加利福尼亚州山景城谷歌连接组学负责人维伦·贾恩联手,后者正在为他的团队的人工智能算法寻找合适的挑战。贾恩说:“连接组学中的图像分析任务非常困难。你必须能够在很远的距离内追踪这些细线,即细胞的轴突和树突,而传统的图像处理方法犯了太多错误,以至于它们对这项任务基本上毫无用处。”这些线可以比一微米还细,延伸到数百微米甚至毫米的组织。深度学习算法提供了一种自动分析连接组学数据的方法,同时仍能实现高精度。在深度学习中,研究人员可以使用包含感兴趣特征的注释数据集来训练复杂的计算模型,以便快速识别其他数据中的相同特征。“当你进行深度学习时,你会说,‘好吧,我只举几个例子,你自己想办法解决一切’,”德国海德堡欧洲分子生物学实验室的计算机科学家 Anna Kreshuk 说。但即使使用深度学习,Lichtman 和 Jain 在尝试绘制人类大脑皮层片段时也面临着艰巨的任务 1 。仅对 5,000 个左右极薄的组织切片进行成像就花了 326 天。两位研究人员花了大约 100 个小时手动注释图像和追踪神经元,以创建“地面实况”数据集来训练算法,这种方法被称为监督机器学习。然后,训练有素的算法自动将图像拼接在一起,并识别神经元和突触以生成最终的连接组。 Jain 的团队为解决这个问题投入了大量的计算资源,包括数千个张量处理单元 (TPU),这是谷歌内部专为神经网络机器学习而打造的图形处理单元 (GPU)。Jain 说,处理这些数据需要几个月的时间,大约需要一百万个 TPU 小时,之后人类志愿者以协作的方式校对和纠正连接组,“有点像谷歌文档”,Lichtman 说。他们说,最终结果是任何物种中以这种细节程度重建的最大数据集。尽管如此,它只代表了 0.0001%
高 I/O 密度和绿色材料是倒装芯片和 3D IC 封装用封装基板的两大主要驱动力。未来的有机层压基板将需要 5-25 µ m 的线宽和间距以及 50-100 µ m 的封装通孔 (TPV) 间距。这种超细间距要求将因电化学迁移和导电阳极丝 (CAF) 而导致严重的基板故障。因此,有必要开发新型无卤材料并研究其在超细间距应用中的可靠性。这项工作主要集中在四个领域:1) 先进的无卤材料,2) 细线宽和间距中的表面绝缘电阻 (SIR),3) 细间距 TPV 中的导电阳极丝 (CAF),以及 4) 倒装芯片互连可靠性。本研究选择的基板材料包括在聚合物主链上加入无卤阻燃剂的树脂配方。在具有 50 µm 间距铜线的基板上研究了 SIR,并在具有 150 µm 和 400 µm 间距 TPV 的基板上研究了 CAF。在这两项测试中,都观察到无卤基板与溴化 FR-4 相比表现出更好的电化学迁移阻力。通过对测试基板进行热循环测试 (TCT)、无偏高加速应力测试 (U-HAST) 和高温存储 (HTS) 测试来研究倒装芯片可靠性。在每次可靠性测试后都进行扫描声学显微镜 (C-SAM) 分析和电阻测量。测试基板分别通过了 200 小时的 HTS、96 小时的 HAST 和 2000 次 TCT 循环。倒装芯片可靠性结果表明,这些材料有可能取代传统的卤化基板用于高密度封装应用。关键词:无卤素基板、表面绝缘电阻、导电阳极丝、倒装芯片可靠性 简介 电子产品向无卤素材料的转变始于 1994 年德国通过的《二恶英法》。从那时起,欧盟 (EU) 制定的生态标签成为印刷线路板采用无卤素材料的驱动力。卤素通常添加到 PWB 中使用的聚合物玻璃复合材料中以达到阻燃效果。然而,卤素材料在特定的燃烧条件下会形成多溴二苯并二恶英 (PBDD) 和多溴二苯并呋喃 (PBDF),这会对环境和健康造成严重风险。在这方面,无卤材料比卤素材料优越得多,并且在回收过程中也很有用 [1]。印刷电路板研究所
(A) 果蝇 (Drosophila melanogaster) 和果蝇 (D. yakuba) 中 eIF4E1 基因组邻域的同源性比较。细箭头表示果蝇 (D. melanogaster) (顶部) 和果蝇 (D. yakuba) (底部) 基因组中参考基因 eIF4E1 所在的 DNA 链。指向右侧的细箭头表示 eIF4E1 在果蝇 (D. melanogaster) 中位于正 (+) 链上,指向左侧的细箭头表示 eIF4E1 在果蝇 (D. yakuba) 中位于负 (-) 链上。指向与 eIF4E1 相同方向的宽基因箭头相对于细箭头位于同一链上,而指向与 eIF4E1 相反方向的宽基因箭头相对于细箭头位于相反链上。果蝇 (D. yakuba) 中的白色基因箭头表示与果蝇 (D. melanogaster) 中相应基因的直系同源。 D. yakuba 基因箭头中给出的基因符号表示 D. melanogaster 中的直系同源基因,而基因座标识符特定于 D. yakuba。(B)GEP UCSC Track Data Hub 中的基因模型(Raney 等人,2014 年)。D. yakuba 中 eIF4E1 的编码区显示在用户提供的 Track(黑色)中;CDS 用粗矩形表示,内含子用细线表示,箭头表示转录方向。后续证据轨迹包括 NCBI RefSeq 基因的 BLAT 比对(深蓝色,D. yakuba 的 Ref-Seq 基因比对)、D. melanogaster 蛋白质的 Spaln(紫色,D. melanogaster 的 Ref-Seq 蛋白质比对)、TransDecoder 预测的转录本和编码区(深绿色)、成年雌性和成年雄性的 RNA-Seq(分别为红色和浅蓝色;D. yakuba 的 Illumina RNA-Seq 读段比对)以及使用 D. yakuba RNA-Seq (SRP006203 - Graveley et al, 2010) 通过 regtools 预测的剪接点。显示的剪接点分别具有 232、500-999 和 >1000 的读取深度,支持读取为粉色、棕色和红色。 (C) 果蝇 (D. melanogaster) 中的 eIF4E1-PB (x 轴) 与果蝇 (D. yakuba) 中的直系同源肽 (y 轴) 的点图。左侧和底部表示氨基酸编号;顶部和右侧表示 CDS 编号,CDS 也以交替颜色突出显示。序列相似性降低的区域用红色圈出。 (D) 果蝇 (D. melanogaster) 中的 eIF4E1-PC (x 轴) 与果蝇 (D. yakuba) 中的直系同源肽 (y 轴) 的点图。序列相似性降低的区域用红色圈出。
(A) 果蝇 (Drosophila melanogaster) 和果蝇 (D. miranda) 中 Pten 基因组邻域的同源性比较。细箭头表示果蝇 (D. melanogaster) (上) 和果蝇 (D. miranda) (下) 中目标基因 Pten 所在的 DNA 链。指向右侧的细箭头表示 Pten 在果蝇 (D. miranda) 中位于正 (+) 链上,指向左侧的细箭头表示 Pten 在果蝇 (D. melanogaster) 中位于负 (-) 链上。指向与 Pten 相同方向的宽基因箭头相对于细箭头位于同一链上,而指向 Pten 反方向的宽基因箭头相对于细箭头位于反链上。果蝇 (D. miranda) 中的白色基因箭头表示与果蝇 (D. melanogaster) 中相应基因直系同源,而黑色基因箭头表示非直系同源。灰色箭头表示在两个基因组邻域中都存在但不是同源的基因(在本例中为 Ror),在 D. miranda 中位于 Pten 的上游,但在 D. melanogaster 中位于 Pten 的下游。D. miranda 基因箭头中给出的基因符号表示 D. melanogaster 中的直系同源基因,而基因座标识符是 D. miranda 特有的。(B)GEP UCSC Track Data Hub 中的基因模型(Raney 等人,2014)。D. miranda 中 Pten 的编码区显示在用户提供的轨道(黑色)中;CDS 用粗矩形表示,内含子用细线表示,箭头表示转录方向。后续证据轨迹包括果蝇 (D. melanogaster) 蛋白质的 Spaln(紫色,果蝇 (D. melanogaster) 的 Ref-Seq 蛋白质比对)、NCBI RefSeq 基因的 BLAT 比对(深蓝色,果蝇 (D. miranda) 的 Ref-Seq 基因比对)、TransDecoder 预测的转录本和编码区(深绿色)、成年雌性和成年雄性的 RNA-Seq(分别为红色和浅蓝色;果蝇 (D. miranda) 的 Illumina RNA-Seq 读段比对)以及使用果蝇 (D. miranda) RNA-Seq (SRP009365) 由 regtools 预测的剪接点。所示的剪接点具有最小读取深度 10,其中 10-49、50-99 和 100-499 支持读取分别以蓝色、绿色和粉色表示。 (C) 果蝇 Pten-PB(x 轴)与果蝇直系同源肽(y 轴)的点图。左侧和底部标明氨基酸编号;顶部和右侧标明 CDS 编号,CDS 也以交替颜色突出显示。点图中的间隙表示序列相似性较低的区域。