薄层电阻

自主报告硬涂层：通过原位薄层电阻测量跟踪 TiN 的时间氧化行为

传统上，工程部件的结构健康和完整性是通过在附近安装的传感器来监测的。近年来，已报道了自报告或自感知材料，其中传感器集成到功能材料中。 [5] 通常，将传感器安装到内部、表面或附近并不能改善整体性能。在这里，我们提出了一种自主自报告材料的概念，其中未经改性的材料本身充当传感器。为此，需要确定一种与所讨论的结构和/或化学变化具有因果关系的材料属性。此后，这种属性被称为自主自报告属性。此外，这种属性需要在应用过程中可测量，并且应用引起的结构和/或成分变化需要导致自报告属性幅度的显著变化。 TiN 被选为参考系统，因为它被广泛用作保护涂层 [6]、扩散屏障 [7] 或微电子学 [8]，并且最近作为等离子体材料引起了人们的关注。[9] 它表现出很高的热稳定性 [10] 和金属电性能，[11] 而其氧化物 TiO 2 的带隙约为 3.1 eV。[12]