第 1 章 简介 1 第 2 章 空中图像的形成 7 A. 光的数学描述 7 B. 基本成像理论 9 C. 像差和瞳孔滤光片 21 D. 散焦 25 E. 图像计算模式 29 第 3 章 驻波 38 A. 垂直入射,单层 39 B. 多层 40 C. 斜入射 43 D. 宽带照明 45 第 4 章 接触式和近距离印刷的衍射 48 A. 基尔霍夫衍射理论 48 B. 平面波狭缝衍射 53 C. 非均匀介质中的衍射 54 D. 确定格林函数 61 E. 接触式印刷 64 第 5 章 光刻胶曝光动力学 67 A. 吸收 67 B. 曝光动力学 72 C. 化学放大光刻胶 76 D. 测量 ABC 参数 84 第 6 章 光刻胶烘烤效果 91 A. 预烘烤 91 B. 曝光后烘烤 100 第 7 章 光刻胶显影 105 A. 动力学显影模型 106 B. 增强动力学显影模型 110 C. 表面抑制 112
在结构化光的领域,光学涡旋及其矢量扩展(矢量涡流束)的研究因其独特的相位和极化特性而引起了很大的兴趣,这使它们对许多潜在应用有吸引力。结合了涡流束和各向异性材料的优势,可以在非线性光学,量子和拓扑光子学中实现电磁场剪裁和操纵的独特可能性。这些应用程序需要一个全面的建模框架,该框架构成了各向异性材料和矢量涡流梁的属性。在本文中,我们描述了一个半分析模型,该模型将矢量衍射理论扩展到通过单轴平板传播的聚焦涡流梁的情况,考虑到标量和矢量涡流的情况下,在laguerre-gaussian模式基础的共同框架中。该模型旨在提供对方法的全面描述,从而实现复杂的光束传输,从单轴各向异性材料中进行特定应用中的单轴各向异性材料的反射和传播。作为其多功能性的演示,我们采用了开发的方法来描述具有各种分散特征的单轴材料中高阶涡流束的传播,探索椭圆形,双曲线和epsilon-near-near-Zero机制。我们展示了培养基各向异性的变化如何因其相互作用的矢量性质而改变束结构,这是由于介质的不同介电性用于横向和纵向场的组件。如果可以通过有效的培养基参数描述,则该方法的适用性可以扩展到人工结构化的介质。开发的形式主义将有助于对复杂梁与单轴材料的相互作用进行建模,从而为多种情况提供了共同的框架,这也可以扩展到电磁波之外。
高级应用有限元方法 C Ross,朴茨茅斯大学 工程结构分析 B. Bedenik 和 C. Besant 应用弹性 JD Renton,牛津大学 轴对称问题的有限元程序 C Ross 朴茨茅斯大学 iCurcuit 分析 JE. Whitehouse,雷丁大学 Conise 热力学 J. Dunning-Davies,船体控制与应用最优控制理论 D. Burghes 和 A Graham 工程材料的腐蚀与退化 H. McArthur 和 D. Spalding 衍射理论、天线与最优传输 R. Clarke 和 J. Bresant 电子工程中的数字滤波器与信号处理 SM Bozic 和 RJ Chance 机械系统动力学 C. Ross,大学朴茨茅斯大学 弹性梁与框架 JD Renton,牛津大学 电气工程数学 R. Clarke,伦敦帝国理工学院 工程数学 N. Challis 和 H. Gretton,谢菲尔德哈勒姆大学 工程热力学 G. Cole,赫尔大学 结构工程有限元程序 C Ross,朴茨茅斯大学 结构力学有限元技术 C. Ross,朴茨茅斯大学 结构概论 WR Spillers,新泽西理工学院 垃圾填埋场污染与控制 K. Westlake,拉夫堡大学 宏观工程 Davidson、Frankel、Meador,麻省理工学院 宏观工程与地球 U Kitzinger 和 EGFrankel 机械加工力学 P. Oxley 和 P. Mathew,新南威尔士大学 固体力学 C. Ross,朴茨茅斯大学 微电子学:基于微处理器的系统D. Boniface,朴茨茅斯大学 导弹制导与追踪 NA Shneydor,以色列理工学院,海法 面向对象技术与计算机系统再造 H. Zedan 工程师的弹性力学 CR Calladine,剑桥大学 压力容器:外压技术 C. Ross,朴茨茅斯大学 潮汐的秘密 JD Boon,弗吉尼亚海洋科学学院,美国 极端热力学 BH Lavenda,卡梅里诺大学,意大利 管道与明渠中的瞬态流,第二版* J. Fox,利兹大学
1 简介 光学衍射是物理学中一个成熟的课题。众所周知,存在许多不同复杂程度的理论处理方法,从惠更斯小波方法到麦克斯韦方程的数值解。然而,在几个具有实际重要性和/或理论意义的情况下,衍射的全部影响要么尚未计算到所需的精度,要么尚未测量。此外,虽然衍射通常被认为是光学测量中的一个复杂因素,但衍射对设备尺寸的敏感性提出了衍射是否能在测量中发挥有用和直接作用的问题。衍射在计量学中的潜在利用是一条尚未探索的途径。辐射测量中最重要的测量之一是辐射度的测量。由于需要某种孔径才能进行这种测量以构建立体角,因此必须准确计算衍射效应,以实现最高精度的辐射测量。即使是最复杂的一级标准辐射计也需要衍射校正,该辐射计通过创建伪无限辐射源来最大限度地减少衍射效应。目前,衍射是限制一级和二级标准辐射测量精度的主要不确定性之一。对于辐射计中使用的相对较大的孔径尺寸,经典衍射理论原则上是足够的,尽管需要做工作来实现较低的计算不确定性。另一方面,对于接近几个波长尺寸的非常小的孔径,大多数衍射理论的假设都失效了。特别是色差和偏振效应变得明显,并且很难实现具有有用精度的计算和实验。尽管如此,超小孔径阵列已被考虑用作光谱滤波器。中等尺寸(即100 个波长量级)的孔径衍射在理论上是可处理的,因为小尺度效应可以忽略不计,而远场情况通常可以大大简化方程式,在实验室中是可以实现的。在这种情况下,存在一种有趣的可能性,即从衍射“反向”工作以确定孔径本身的尺寸。作为一种基于光使用的新型尺寸测量技术,这在计量学上很重要。是否具有足够的测量精度值得怀疑这些考虑导致了对衍射中未解决问题的双管齐下的研究:利用衍射测量孔径大小,并开发更精确的辐射测量衍射代码。2 衍射孔径测量 2.1 衍射孔径测量:理论 基于衍射的孔径测量技术利用了众所周知的事实,即远离衍射孔径,衍射图案的光场是孔径平面中光场的傅里叶变换。1 原则上,远处的衍射场(幅度和相位)可以通过快速傅里叶变换代码进行测量和变换,以产生完整的二维孔径函数。然而,在实践中,测量光场的相位会给实验装置带来很大的复杂性。