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色差共焦技术使用白光源,光线通过具有高度色差的物镜。物镜的折射率将根据光的波长而变化。实际上,入射白光的每个单独波长将在距镜头的不同距离(不同高度)处重新聚焦。当测量样品在可能的高度范围内时,将聚焦单个单色点以形成图像。由于系统的共焦配置,只有聚焦的波长才会高效地通过空间滤波器,从而导致所有其他波长失焦。光谱分析是使用衍射光栅完成的。该技术将每个波长偏离不同的位置,截取一条 CCD 线,这反过来指示最大强度的位置并允许直接对应于 Z 高度位置。