• 2.5D IC 与 2D IC 的区别在于,2.5D IC 在芯片和基板之间添加了一个硅中介层,中介层上表面和下表面的金属化层之间通过 TSV 连接。[10] 这样,通过将芯片并排放置,就可以实现不同芯片之间的互连。例如:存储器芯片与逻辑芯片。
FR-995 是一种通用高纯度氧化铝陶瓷材料,具有出色的介电性能、高抗压强度和良好的隔热性能。它比高纯度氧化铝陶瓷更软,更容易硬磨,并且可以进行厚金属化以创建适用于各种应用的密封组件。我们的 FR-995 可以在烧成前进行精密加工,从而能够制造复杂的软尺寸组件。
1技术和过程技术的选择BJT,CMOS和BICMOS集成电路,硅技术与GAAS。2个材料特性。3相图和固体溶解度。4晶体生长。 5热氧化。 6扩散(1)。 7扩散(2)。 +第7周评估 +中期考试。 8离子植入。 9蚀刻和清洁。 10种现代印刷技术。 11外延和化学蒸气沉积(CVD)。 12金属化。 +第12周考试13过程集成(CMOS和BJT)。 14测试程序和测试模式,测试流程图,计划和策略。 15故障诊断和模拟,测试设备。 s t u d e n t g r a d i n g&a s s s s s s s s s s s s s s s m n t4晶体生长。5热氧化。 6扩散(1)。 7扩散(2)。 +第7周评估 +中期考试。 8离子植入。 9蚀刻和清洁。 10种现代印刷技术。 11外延和化学蒸气沉积(CVD)。 12金属化。 +第12周考试13过程集成(CMOS和BJT)。 14测试程序和测试模式,测试流程图,计划和策略。 15故障诊断和模拟,测试设备。 s t u d e n t g r a d i n g&a s s s s s s s s s s s s s s s m n t5热氧化。6扩散(1)。 7扩散(2)。 +第7周评估 +中期考试。 8离子植入。 9蚀刻和清洁。 10种现代印刷技术。 11外延和化学蒸气沉积(CVD)。 12金属化。 +第12周考试13过程集成(CMOS和BJT)。 14测试程序和测试模式,测试流程图,计划和策略。 15故障诊断和模拟,测试设备。 s t u d e n t g r a d i n g&a s s s s s s s s s s s s s s s m n t6扩散(1)。7扩散(2)。+第7周评估 +中期考试。8离子植入。9蚀刻和清洁。10种现代印刷技术。11外延和化学蒸气沉积(CVD)。12金属化。+第12周考试13过程集成(CMOS和BJT)。14测试程序和测试模式,测试流程图,计划和策略。15故障诊断和模拟,测试设备。s t u d e n t g r a d i n g&a s s s s s s s s s s s s s s s m n t
Peter Imrich 博士在奥地利莱奥本大学获得材料科学博士学位,研究方向为微纳米机械材料行为。他于 2015 年加入英飞凌,担任金属化专家,专注于所有英飞凌前端技术以及与后端处理的交互。自 2021 年起,他领导位于奥地利菲拉赫的 KAI 汽车和工业电子能力中心的材料科学与模拟小组。
Wafer Warpage是半导体制造商面临的基线问题,实际上,在与制造功率金属氧化物半导体磁场效应晶体管(MOSFET)的制造的人中尤为明显。这是因为垂直MOSFET与传统的外侧对应物相比会经历更大的经线效应。wafers超过其临界价值的瓦金(Wafers)在自动处理过程中无法通过吸尘器吸附来削减其临界价值;晶圆上制造的设备也面临可靠性问题。本文介绍了用于减少电源MOSFET晶体经纪的各种机制的分析。通过改变背面金属化(BSM)厚度,膜沉积的溅射功率和晶片温度(即将低温条件引入过程中)来检查扭曲行为。结果表明,当前端制造过程完成后,BSM厚度和晶圆的温度都与晶圆经膜的相关性明显相关。晶圆弓水平与溅射功率的大小直接成比例。当溅射功率降低时,诱发残留应力较小以变形晶片结构。因此,可以调整溅射功率,以确保扭曲效应保持在其临界值以下。关键字:经形,功率MOSFET,残余压力,背面金属化,溅射功率,低温温度
• 经过验证的陶瓷等级,在高温高压下保持高介电强度,性能优于玻璃和 PEEK 等聚合物替代品 • 耐恶劣、腐蚀性化学环境 • 密封组件,100% 氦气泄漏测试至 10 -9 mbar l/s • 精密组件,可与子系统和设备进行最佳连接 • 设计专业知识、数字原型设计和模拟能力 • 全面生产能力 • 专有钎焊金属和定制金属化油墨 • 能够钎焊大型组件,否则必须使用劣质粘合剂或机械连接
提出了一种高度加速的剪切疲劳测试方法,以测试长期的可靠性并揭示热cu e cu球键的粘结界面。该方法是对新的工业疲劳测试仪(BAMFIT)的适应,并且可以在没有复杂的标本制备的情况下进行。此方法诱导机械循环剪应力向Cu指甲发出,以引发疲劳性断裂直至升出,从而揭示了实际的粘合界面。这项研究比较了与粗粒和细粒铜和Al金属化粘合的Cu电线的抗疲劳性。疲劳实验伴随着纳米压痕测试,剪切测试和有限元分析。疲劳结果表明,粗粒状Cu垫(金属化)的CU键最佳,然后是在细粒度Cu上键的键,而Cu e Al Nailheads比Cu e Cu键早于十年。在测试之前退火样品会导致CU键和Cu e Al键的负载周期数量(N F)的量略有增加,而N F中Cu键的散射增加了。由于断裂概率曲线的变化,疲劳数据的计算出的耐力极限随着退火阶段的增加而减少。具有比较几分钟内粘结界面的疲劳行为的能力,此方法最适合在开发的早期阶段快速资格。
Course Content: Module 1: INTRODUCTION TO VLSI DESIGN: What is VLSI Design and Microelectronics / Practical Applications of Integrated Circuits / Why study VLSI Design and Microelectronics / Career Prospects in VLSI Design / ASIC Design Flow / Types of Integrated Circuits ( Full Custom / Semi Custom / Gate Array ) / State of the Art in VLSI Design.模块2:MOSFET的操作和建模:MOSFET作为开关 / NMOS和PMOS晶体管 / MOS设备 / MOS设备的物理 /操作 /电流方程在不同区域 /阈值电压 /身体效应 /车身效应 /通道长度调制 /速度饱和 /短通道效果 /简短通道效应 /简介Spice Simulation。模块3:CMOS工艺技术和芯片制造:半导体晶体生长 /晶圆制剂的简介 /外交 /氧化 /扩散 /光刻 /金属化 /金属化 /蚀刻 /芯片包装和测试。模块4:数字CMOS电路的电路设计和布局:组合和顺序电路 /逻辑门 /闩锁和flops和flops /逻辑设计样式 /逻辑系列。模块5:CMOS模拟电路设计 - 简介:MOSFET / MOS模型 /电流源 /电流镜像 /差分放大器 /比较器 / opamp / opamp / bgr / dac / dac / adc / pll / rf电路的电流方程。模块6:模拟布局 - 概述:电阻器 /电容器 / MOSFET /匹配技术的布局(互构化和公共质心布局) /可靠性问题 - 电气移民 / ir drop / crosstalk / crosstalk / latchup / eSD / eSD /天线效应。行业标准EDA / CAD介绍模拟布局。