在微电子领域,设备集成度更高、散热性能更好一直是个趋势。在制造基于陶瓷的微电子器件时,可以应用以下技术。厚膜混合技术使用烧结陶瓷基板(主要是 Al 2 O 3 ),用功能糊料进行丝网印刷,然后在 850°C 下烧制。氧化铝基板具有非常好的导热性(25 W/mK),但是只有两侧可以进行金属化。使用 LTCC 技术的多层系统可以实现更好的小型化。LTCC 器件通过丝网印刷、堆叠和层压陶瓷绿带,然后进行共烧来制造。LTCC 的缺点是由于其玻璃含量高而导致的低导热性(3 W/mK)。通过结合混合技术和 LTCC 技术,可以结合两种方法的优点,例如良好的导热性和高的多层集成度。由于通过热压将生带层压在烧结陶瓷基板上的故障率太高,因此冷低压层压 (CLPL) 已被用作替代层压工艺。CLPL 是一种层压方法,其中组件的连接是在室温下通过使用双面胶带施加非常低的压力 (<5 MPa) 进行的。在热处理过程中,粘合膜将胶带保持在一起,直到粘合剂完全分解;在进一步升温期间,胶带通过烧结连接在一起。本文介绍了将烧结材料与生带连接所使用的材料和加工步骤,并讨论了烧制过程中发生的影响。这些影响(如边缘卷曲和裂纹形成)主要是由于在受限烧结过程中发生的应力造成的。可以通过改变工艺参数来影响它们的控制。关键词:连接、层压、冷低压层压、LTCC、氧化铝基板
空间应用中心 (ISRO) 从事微波集成电路制造,用于通信、遥感和导航有效载荷。SAC 开发了使用磁控溅射技术在氧化铝基板的两侧(顶部和底部)进行 Cr-Cu-Au(铬-铜-金)金属化的工艺。MIC 制造的基材是介电陶瓷,即氧化铝,将在其上进行金属化以进行 MIC 图案化。
2 佛罗里达国际大学,10555 W Flagler St,EC3442 佛罗里达州迈阿密 33174 jones@fiu.edu 摘要 玻璃料是用于生产混合电路的厚膜电阻器 (TFR) 的主要成分。已经评估了 30 多种具有不同成分的商用无铅玻璃料,以开发一种无铅厚膜电阻器,该电阻器与典型的工业厚膜加工兼容,并且具有与含铅电阻器相当的电气性能。从 33 种候选玻璃组合物中选出了两种用于制备基于 RuO 2 的 TFR 油墨,将其丝网印刷在氧化铝基板上并在 850°C 下烧制。这些电阻器的初步结果表明,当 RuO 2 为 5-15% 时,薄层电阻范围从 400 欧姆每平方 ( Ω / □ ) 到 0.4 兆欧姆每平方 ( M Ω / □ ),热温度系数 (HTCR) 在 ±350ppm/°C 范围内。关键词:无铅,玻璃料,厚膜电阻器,薄层电阻,TCR 1 引言 厚膜电阻器 (TFR) 是一种复合材料,其中导电相嵌入连续玻璃基质中 [1]。它已广泛应用于混合微电子电路 [2-5]。通常,将导电粉末(氧化钌、氧化铱、钌酸铅)与玻璃料混合,与有机载体混合以获得可印刷油墨,将该油墨丝网印刷在氧化铝基板上然后烧成。玻璃料是厚膜电阻器的主要成分之一,大多数市售的 TFR 产品都含有铅硼硅酸盐玻璃,其中氧化铅含量相当甚至占主导地位 [6]。为了减少因电子产品消费和处置增加而对环境造成的负面影响,无铅加工的需求一直很高。开发新型无铅厚膜材料是最受认可的解决方案之一。因此,有各种无铅焊料、导电产品和其他封装产品可供选择,它们具有与含铅产品相当的性能;然而,对于无铅 TFR,仅报告了部分令人满意的成分。M. Prudenziati 等人 [1] 使用七种无铅玻璃制备了基于 RuO 2 的 TFR。结果尚无定论,证明了无数复杂现象,包括脱玻化、氧化铝基板上玻璃的相关渗漏、玻璃基质中导电晶粒的异常分布和相分离。MG Busana 等人 [7] 使用铋酸盐玻璃,声称
厚膜技术应用 厚膜技术是 PCB 生产技术的替代方案,因此在厚膜网络设计中也应用了类似的规则。该技术用于要求长寿命、耐热性、机械强度、热导率、电气强度、低介电损耗等要求苛刻的应用。印刷氧化铝基板在腐蚀性环境中以及 FR4 等传统材料失效的情况下非常有用。它们应用于汽车和航空航天工业、医疗工业、LED 照明、电力电子、混合微电子、微波电路、传感器、电子元件等。
•所有层:96%氧化铝基板和杜邦5771 AU厚膜金属化•内部设计的,商业上制造的,商业上的步骤I•Ferro 10-054玻璃作为粘合剂(蓝色)•堆叠•玻璃粘合剂湿•时,•水平对齐的“壁上”,在150°C下,在150°C下,在150°C下,lift lime d Dried速度,该速度为20分钟,仪式为20分钟。 850°C在空气中的盒子烤箱中,坡道速率为40°C/min。步骤iii•将Au糊(5771)添加到侧壁上的Au垫之间的空间•在150°C下干燥20分钟,坡度速率为40°C/min,在850°C下发射20分钟,坡道速率为40°C/min,在空气中的盒子烤箱
摘要 — 有源植入式医疗设备的密封和非密封封装通常由氧化铝等陶瓷制成。丝网印刷 PtAu 糊剂是功能结构最先进的金属化方法。由于 Au 在热暴露下会发生固态和液态扩散,焊接时间有限;否则金属结构容易分层。此外,研究表明,带焊料的 PtAu 会在 37.4 年后失效。我们建立了一种氧化铝薄膜金属化工艺来克服这些缺点。金属化由溅射铂和钨钛制成的底层粘附层组成,以增加与氧化铝基板的粘附强度。由于金具有较高的扩散趋势,我们避免在这项工作中使用金。相反,所使用的材料具有相对较低的扩散特性,这可能会提高组装和封装过程中的长期机械性能和可用性。
这项工作的目的是确定从材料接触中创建多层阴极的可能性,其在薄金属基板上的不同输出的不同输出,以及在微型流中,在电子流的交叉部分中形成密集的胶带和环的实际使用,但高电量设备。方法。gafnii层(𝑒3〜3。5 eV)和铂(𝑒3〜5。3 eV)分别使用相当简单且操作的Magnetron喷涂方法顺序将10 nm和2 nm依次应用于金属箔底物的侧面。阴极由箔制成,并用多层涂层在电子束的横截面中形成胶带和环。在三极管电子光学系统中产生了多层阴极发行特性及其形成的光束的实验测量,其中包括控制电极(阳极)和选举收集器的阴极以Pharanda圆柱体的形式进行。测量是在技术真空10-7的条件下进行的。。。10-8 Torr。 结果。 实验定义了由三极管电子光系统形成的电子流的横截面的特征和环在薄铝基板(9微米)和坦塔鲁斯(10微米)上形成的电子流的横截面。 测量了从阴极的电流对Cato室和控制电极之间电压(Volt-Ampere特性)之间的电压的依赖性,以及所形成的束的电子光系统中电流的变化。 结论。 。 。10-8 Torr。结果。实验定义了由三极管电子光系统形成的电子流的横截面的特征和环在薄铝基板(9微米)和坦塔鲁斯(10微米)上形成的电子流的横截面。测量了从阴极的电流对Cato室和控制电极之间电压(Volt-Ampere特性)之间的电压的依赖性,以及所形成的束的电子光系统中电流的变化。结论。。。在本文中,在电子流的薄金属基板上使用多层天主管在电子流的薄金属基板上进行了形成,并在高达300的田间发射场的横截面中,电流的横截面最大为几米,平均水平极大。400 A/cm 2。在选择技术真空中选择大型田间发射时,研究的阴极稳定运行的可能性。
摘要 薄膜技术因其多种工业用途而具有吸引力,正在工程学、化学、物理学和材料科学等许多领域得到研究。近年来,随着可再生能源的开发前景,薄膜市场,尤其是光伏领域的研究得到了显著发展,薄膜市场迅速增长。然而,这并不排除其他领域,如半导体集成电路、保护、光学或简单的装饰涂层。上面没有提到的一个领域是新兴的能量收集领域,即捕获和积累来自环境中可用的替代能源的所有能量;第一步是寻找能够将环境能量转换为电能的设备。多年来,人们一直在研究实现这种转换的一种可能的解决方案,那就是压电薄膜,本论文的主题就是压电薄膜的实现和一些初步测量。所采用的技术是生产薄膜最通用的技术之一,即在反应环境中的磁控管配置中进行溅射,该技术快速且能适应各种要求,以获得具有所需特性的薄膜。沉积的压电材料是铝基板上的氮化铝。
用于太空有效载荷的微波专为各种微波频率而设计。它们还能够承受严苛的太空和发射环境。它们为航天器系统中的组件提供电气接口,确保高可靠性。该封装由许多载板组成,基板附着在其上。载板用作金属载体,以支撑蚀刻微波电路的氧化铝基板。基于 CFRP 的载板的自主开发可能取代标准的基于 Kovar 的载板,以将质量减少六倍并使其比现有拓扑更轻。然而,与 Kovar 材料相比,CFRP 的导电性明显较低。较低的导电性直接影响散热、电磁屏蔽、载流能力和表面处理工艺。为了克服这些问题并获得充分的优势,可以将先进的纳米填料碳纳米管 (CNT) 添加到聚合物中。使用 CNT 复合材料不仅可以减轻重量,还可以改善热参数和电参数。本文概述了增强 CFRP 的热性能和电性能的研究,并有助于设计微波封装组件。挑战在于确定合适的制造技术、工艺参数和 CNT 复合材料的特性。