摘要:现代高通量纳米图案化技术(如纳米压印光刻技术)使得在大面积基底(cm 2 至 m 2 规模)上制造纳米结构阵列(尺寸为 10 至 100 纳米的特征)成为可能,例如硅晶片、玻璃片和柔性卷对卷网。制造这种大面积纳米结构阵列 (LNA) 的能力创造了广阔的设计空间,实现了广泛的应用,包括光学设备(例如线栅偏振器、透明导体、彩色滤光片和抗反射表面)以及电子元件的构建块(例如超级电容器、传感器和存储器架构)。然而,现有的计量方法将难以与制造方法一起扩展。例如,扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 具有微米级视场 (FOV),这妨碍了对以每分钟平方米的速度制造的 LNA 进行全面特性分析。散射测量方法具有更大的 FOV(通常为几百微米到几毫米),但传统散射测量系统一次只测量一个点的样品,这也使得它们对于大规模 LNA 制造来说太慢。在这项工作中,我们展示了使用高光谱成像对传统光谱散射测量方法进行并行化,将该技术的吞吐量提高了 106-107 倍。我们通过使用高光谱成像和反射光谱的逆向建模来展示这种方法,以微米级空间分辨率获得毫米和厘米级 Si 纳米柱阵列结构的三维几何数据。这项工作表明,可以对各种 LNA 进行几何测量,并有可能在大面积上实现高速测量,这对于未来的 LNA 制造至关重要。
软机器人领域致力于创造大部分(如果不是全部)柔软的机器人。虽然软致动器和软传感器都取得了重大进展,但在软控制系统的开发方面所做的工作相对较少。这项研究提出了一种软微流体多路分解器作为软机器人的潜在控制系统。多路分解器只需几个输入即可控制许多输出,增加了软机器人的复杂性,同时最大限度地减少了对外部阀门和其他外部组件的依赖。这项研究中的多路分解器改进了早期的微流体多路分解器,输入减少了近两倍,这一设计特点简化了控制并提高了效率。此外,这项研究中的多路分解器旨在适应软机器人所需的高压力和流速。多路分解器的特征从单个阀门级别到完整的系统参数,其功能通过控制一系列可单独寻址的软致动器来展示。
让 FF0 FF1 FF_CB FF_CB_slow 0.9 4.28571E-10 2.78571E-10 6.14286E-10 5.42857E-10 1.9 4.25E-10 5.25E-10 7.75E-10 6.25E-10 2.2 3.42951E-10 4.91563E-10 1.10888E-09 5.02995E-10 2.8 6.72495E-10 5.52407E-10 1.39303E-09 7.2053E-10 6.3 1.14226E-09 8.30737E-10 2.54413E-09 2.49221E-09 6.4 1.9031E-09 1.71132E-09 4.48483E-09 3.79146E-09 7.6 1.73551E-09 1.89552E-09 4.33263E-09 3.17562E-09 7.8 2.15517E-09 1.90965E-09 5.23789E-09 4.11938E-09 9.7 2.21607E-09 2.14681E-09 6.5097E-09 4.50139E-09 9.8 2.72374E-09 2.0428E-09 8.31712E-09 3.98833E-09 24.1 2.86338E-09 4.36324E-09 3.02018E-08 1.5544E-08 24.3 3.56738E-09 3.99207E-09 3.08041E-08 1.38732E-08 29.4 4.05186E-09 5.15166E-09 3.99398E-08 1.77124E-08 29.7 3.46962E-09 6.47037E-09 4.3886E-08 1.80045E-08 29.8 1.05556E-08 1.16667E-08 0.0000001 3.97222E-08 30.37 7.88177E-09 1.03448E-08 8.02956E-08 4.66749E-08
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