摘要 随着三维集成电路(3D-IC)堆叠的增加,由于不对称马鞍形翘曲的增加,机械应力问题具有挑战性。通过在晶圆背面形成数十微米的沟槽或进行激光退火处理来减少不对称翘曲的各种方法已被提出,但它们的产量低或缺乏改进价值。在本文中,我们提出了一种通过在晶圆背面直接涂覆来降低取决于翘曲形状的机械应力的新方法。所提出的方法是通过使用喷墨打印对感光聚酰亚胺(PSPI)进行图案化以调整表面特性和台阶,然后沉积具有高压应力的四乙基硅酸酯(TEOS)薄膜来释放翘曲。利用ABAQUS有限元分析软件,测量了裸晶圆在工艺前后沿x轴和y轴方向的不对称弯曲变化。通过实验和仿真,在300mm晶圆上部分沉积10µm厚的TEOS膜时,x-y方向的倾斜度约为230µm。此外,利用该工艺,可以根据TEOS膜厚度和面积的变化来释放局部弯曲(翘曲)。这些结果为解决堆叠工艺引起的异常翘曲提供了有效的指导,可应用于先进封装中的3D集成。关键词 翘曲、马鞍形翘曲、NAND、3D NAND、背面图案化
2 该场被认为是希格斯场,然而最近的发现对这种情形表示怀疑,尽管古斯本人也曾谈论过希格斯场(参见 [4,第 175 页])。 3 虽然平坦几何意味着宇宙的几何形状是欧几里得类型的,但这并不意味着宇宙是字面意义上的平坦。它意味着两点之间的最短路径是直线,三角形的内角和为 180 度,平行线永不相交。另外两种几何具有不同的性质:在球面几何中,三角形的内角和大于 180 度,平行线相交;而在双曲几何(马鞍形)中,三角形的内角和小于 180 度,平行线不相交且彼此远离。
● 对于没有地面空间安装标准室外冷凝器的住宅,这可能是一个解决方案。● 与传统的带逆循环的窗式空调机组相比,这种空调机组更安静,操作范围更大,控制性能更好。● 容量可与小型无管道迷你分体式空调相媲美,但成本更低。● 对于只有 120V 电源的住宅/公寓,这些空调机组可带来热泵效益,而无需进行可能昂贵的面板升级或铺设新的 240V 线路。● 可由业主/租户/DIY 安装,设置工作量极少。● 预充式密闭系统可降低泄漏风险。● 有可能满足大部分或全部多户住宅的供暖/制冷需求。● 租户搬家时可以购买并带走这些空调机组。● 对于窗式空调机组,与其他设计相比,马鞍形设计可以提供更多的原始窗景。● 对于穿墙式空调机组,可能只需要排气/进气口。● 它们可能有助于紧急制冷。