研究了慢速高电荷氙离子的动能和中和能沉积对金纳米层表面纳米结构形成过程的影响。通过在晶体硅 Si(100) 基底上电子束蒸发金来制备厚度为 100 nm 的纳米层。样品在 Jan Kochanowski 大学(波兰凯尔采)的凯尔采 EBIS 设施中在高真空条件下进行辐照。辐照条件为恒定动能 280 keV 和不同的离子电荷态(Xe q +,q = 25、30、35、36 和 40),以及恒定电荷态 Xe 35 + 和不同的动能:280 keV、360 keV、420 keV 和 480 keV。离子通量为 10 10 离子/cm 2 的水平。在辐射之前和之后,使用原子力显微镜研究了纳米层表面。结果观察到了纳米层表面以陨石坑形式出现的明显变化。对陨石坑尺寸(表面直径和深度)的系统分析使我们能够确定沉积动能和中和能对获得的纳米结构尺寸的影响。基于离子里德堡态布居的量子双态矢量模型,在微阶梯模型中对结果进行了理论解释。固体内部电荷相关的离子-原子相互作用势用于计算核阻止本领。根据该模型,纳米结构的形成受表面前方离子中和过程和固体内部动能损失的控制。这两种过程在表面结构形成过程中的相互作用用临界速度来描述。利用所提出的理论模型计算了中和能、沉积动能和临界速度,并与实验结果进行了定性比较。结果与先前对单电离氙和结晶金表面的实验数据和分子动力学模拟结果一致(归一化后)。
原子层沉积允许精确控制膜厚度和形式。它是高纵横比结构(例如3D NAND记忆)的关键推动因素,因为它的自限性行为比传统过程更高的合并性。然而,随着纵横比的增加,经常发生与完全保征的偏差,需要全面的建模以帮助开发新技术。到此为止,我们为存在不完整的整合性的原子层沉积过程中提供了一个模型。该模型结合了基于Knudsen扩散和Langmuir动力学的现有方法。我们的模型通过(i)通过Bosanquet公式融合了气相扩散率以及在Yanguas-Gil和Elam首先提出的建模框架中的反应可逆性,以及(ii)有效地集成在级别设定的地形模拟器中。该模型在侧面高纵横比结构中手动校准了Al 2 O 3的原型原子层沉积结果。我们研究了h 2 o步的温度依赖性,从而提取了0的活化能。178 eV与最近的实验一致。在TMA步骤中,我们观察到Bosanquet公式的精度提高,并以相同的参数集复制了多个独立的实验,这突显了模型参数有效地捕获了反应器条件。
1个疫苗接种计划可以根据操作考虑选择在以后的年龄上进行首次剂量。对RTS的研究,S/AS01表明,如果给出了6周龄左右的第一次剂量,则效力较低。但是,如果某些孩子在4个而不是5个月接受了第一个剂量,并且在5个月以下的年龄较小的年龄较小的疫苗接种可能会增加覆盖范围或影响
摘要 原子层沉积(ALD)已成为当代微电子工业中不可或缺的薄膜技术。ALD 独特的自限制逐层生长特性使该技术能够沉积高度均匀、共形、无针孔的薄膜,并且厚度可控制在埃级,尤其是在 3D 拓扑结构上。多年来,ALD 技术不仅使微电子器件的成功缩小,而且还使许多新颖的 3D 器件结构成为可能。由于 ALD 本质上是化学气相沉积的一种变体,因此全面了解所涉及的化学过程对于进一步开发和利用该技术至关重要。为此,我们在本综述中重点研究 ALD 的表面化学和前体化学方面。我们首先回顾了气固 ALD 反应的表面化学,并详细讨论了与薄膜生长相关的机制;然后,我们通过比较讨论 ALD 工艺中常用的前体来回顾 ALD 前体化学;最后,我们有选择地介绍了 ALD 在微电子领域的一些新兴应用,并对 ALD 技术的未来进行了展望。
- 奥地利航天局(ASA)/奥地利。- 比利时科学政策办公室(BELSPO)/比利时。- 机器建筑中央研究所(TSNIIMASH)/俄罗斯联合会。- 北京跟踪与电信技术研究所(CLTC/BITTT)/中国/中国卫星卫星发射和跟踪控制将军/中国。- 中国科学院(CAS)/中国。- 中国太空技术学院(CAST)/中国。- 英联邦科学与工业研究组织(CSIRO)/澳大利亚。- 丹麦国家航天中心(DNSC)/丹麦。- deciênciae tecnologia Aerospacial(DCTA)/巴西。- 电子和电信研究所(ETRI)/韩国。- 欧洲剥削气象卫星(Eumetsat)/欧洲的组织。- 欧洲电信卫星组织(Eutelsat)/欧洲。- 地理信息和太空技术发展局(GISTDA)/泰国。- 希腊国家太空委员会(HNSC)/希腊。- 希腊航天局(HSA)/希腊。- 印度太空研究组织(ISRO)/印度。- 太空研究所(IKI)/俄罗斯联合会。- 韩国航空航天研究所(KARI)/韩国。- 通信部(MOC)/以色列。- 穆罕默德垃圾箱拉希德航天中心(MBRSC)/阿拉伯联合酋长国。- 国家信息与通信技术研究所(NICT)/日本。- 国家海洋与大气管理局(NOAA)/美国。- 哈萨克斯坦共和国国家航天局(NSARK)/哈萨克斯坦。- 国家太空组织(NSPO)/中国台北。- 海军太空技术中心(NCST)/美国。- 荷兰太空办公室(NSO)/荷兰。- 粒子与核物理研究所(KFKI)/匈牙利。- 土耳其科学技术研究委员会(Tubitak)/土耳其。- 南非国家航天局(SANSA)/南非共和国。- 太空和高中气氛研究委员会(Suparco)/巴基斯坦。- 瑞典太空公司(SSC)/瑞典。- 瑞士太空办公室(SSO)/瑞士。- 美国地质调查局(USGS)/美国。
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我的最终平均工资 (FAS) 如何计算?自 2024 年 4 月 20 日起,FAS 定义为成员在连续三年内获得的最高平均工资的平均值。但是,用于计算 FAS 的任何一年的工资不得超过前四年的平均工资的 10% 以上。在 2024 年 4 月 20 日之前,任何连续五年的 FAS 不得超过前四年的平均工资的 10% 以上。如果您在 2024 年 4 月 20 日之前服务年限不足九年,或者在 2024 年 4 月 20 日及之后服务年限不足七年,则您的 FAS 将包括预计收入以填补任何缺失的服务年限。