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World File Search System鲁因光
光罩
在半导体器件制造过程中，EUV 光刻技术必不可少，而光化学 EUV 掩模计量技术必不可少。在 PSI，我们正在开发 RESCAN，这是一种基于相干衍射成像 (CDI) 的平台，可以满足当前和未来的掩模检查分辨率要求。在 CDI 中，用相干光照射样品获得的衍射图案由像素检测器记录，这些衍射图案用于通过迭代相位检索算法重建物体的复振幅图像。虽然在传统光学系统中，像差会影响最终图像的分辨率，但 CDI 方法本质上是无像差的。尽管如此，仍需要仔细预处理衍射信号以避免重建图像中出现伪影。特别是，由于我们的系统以 6° 的入射角在反射模式下工作并使用平面检测器，因此有必要校正由于非远心性而导致圆锥失真的记录衍射图案。本文讨论了衍射数据预处理对重建图像质量的影响，并通过在 RESCAN 显微镜中应用优化的数据预处理流程展示了缺陷灵敏度的提高。结果，我们在光掩模上实现了低至 20 nm 的缺陷灵敏度，并在大视场中实现了均匀的图像质量。
国立彰化师范大学电子工程学系硕士班毕业条件表暨课程...
2 4光电实验技术光电实验室光电工程概论33 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3技术工业和微电源行业的技术半导体设备半导体产业技术专论33半导体行业和技术的特殊主题半导体磊晶技术33半导体外延技术
人工智能一代计划 | 鲁本学院
鲁本学院在未来几年，大多数数字信息可能会由人工智能生成、编辑或翻译。人与人之间的数字通信将由人工智能作为副驾驶、虚拟助理和个人代理进行。随着人工智能变得越来越强大，数字环境中越来越多的功能将由机器主导，包括内容创建和商业。我们的虚拟和物理环境可能会变得“人工智能丰富”，但这不一定能丰富我们的生活。
鲁本大学环境可持续性战略
• Remediation of specific issues causing inefficient energy use in college estate from the prioritised list • Energy use & carbon emissions for the college, per m2, per student etc., and rate of decrease over time • Refurbishment standard / building fabric standard for new acquisitions, and ongoing improvement of existing building stock • Dates from which to no longer use natural gas • Efficiency of lights, appliances, cooking equipment • Energy controls & feedback [Links with priority: Education and Research] • Education, feedback, incentives, involvement in management decisions of building users (staff and students) [Links with priority: Education and Research] • Thermal comfort standards – or more accurately, internal temperatures & other air quality issues (note the university's ‘functional estate' heating standard of 19C in winter 2022/23) • Purchasing of renewable electricity • Installation of solar PV / other on-site renewable options