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商务部宣布与 xLight 敲定 CHIPS 激励措施，以支持下一代光刻光源
美国商务部和美国国家标准与技术研究院 (NIST) 今天宣布，根据《CHIPS 和科学法案》签署了向 xLight, Inc. 提供 1.5 亿美元联邦激励措施的最终裁决。
来源:美国国家标准与技术研究院__制造业信息华盛顿特区 — 美国商务部和国家标准与技术研究院 (NIST) 今天宣布根据《芯片和科学法案》签署向 xLight, Inc. 提供 1.5 亿美元联邦奖励的最终裁决。这些激励措施用于建造和演示首个自由电子激光（FEL）原型，这是一种革命性的替代光源，旨在重新定义极紫外（EUV）光刻的极限。
xLight 的 FEL 平台旨在通过提供更大的功率、更高的效率和更高的产量来克服 EUV 光刻的物理瓶颈。该奖项将支持纽约奥尔巴尼纳米技术综合体的原型建设，在美国验证和扩展这种新颖的光源。
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