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摘要 —本文基于 MEMS 技术设计并制作了带穿孔电极的驻极体振动能量收集器。装置中的固定电极上分布有通孔，以优化能量收集过程。在有限元法 (FEM) 模拟和实验中分析并讨论了孔对装置输出功率的影响。可以看出，通孔可以有效降低大气中可移动质量块上的挤压膜空气阻尼力。因此，可以减少由于空气阻尼造成的能量损失，并增加装置的输出功率。还详细研究了孔直径和数量对装置输出功率的影响。通过优化孔的配置，孔直径为 400 µ m、深度为 100 µ m 的穿孔装置在 1.84 m/s 2 的低加速度下表现出最高的功率输出，这证明了未来在自供电电子产品中的良好应用。 [2020-0380]
带穿孔电极的 MEMS 振动能量收集器的优化
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