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所有 92FFD 系列集气室均采用机器人焊接,以确保设计一致、坚固、清洁且相对无泄漏,从而验证规定的效率和泄漏,以满足目前最严格的泄漏测试。每个单元都经过 IEST-RP-CC034.3 标准 PAO 扫描测试,以确保泄漏与未受损的过滤器一致。高级设计特点和高品质结构包括可拆卸表面,用于更换房间侧过滤器。这样可以保持洁净空间的完整性,因为无需穿透天花板。
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