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• 外延,源于希腊语 epi (意为“在……上”)和 taxis (意为“排列”),描述的是一种晶体生长技术,在晶体表面形成一层薄薄的半导体材料,其晶格结构与晶体相同。这种方法对于提高器件性能和创造新型器件结构非常重要。

半导体制造理论与技术

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