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单元 — I MEMS 概述及缩放定律...
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内容：• MEMS 和微系统• 微系统工作原理及示例• 微系统和微电子学• 微系统的应用• 小型化的好处• 缩放简介• 几何、静电力的缩放• MEMS 设计注意事项。

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