机构名称：
¥ 7.0
随着器件尺寸缩小节点预计将在未来两年内降至 5 纳米以下，具体为 2 纳米 [7]，几何尺寸缩小预计将很快达到其物理极限，或达到成本和可靠性问题远远超过收益的程度。此外，物理尺寸缩小可能不再是推动行业发展的主要技术驱动力：物联网 (IoT)、信息物理系统、自动驾驶汽车、云计算和大数据、绿色能源以及医疗和健康技术等应用预计将影响设计和制造方法[8]。使用新材料和新工艺制造的复杂 3D 结构的尺寸不断减小，预计在未来几年内也将加速使用[9] [10]。
2023 IRDS 计量
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