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摘要：MEMS传感器的不断开发和微型化总是为它们在与健康相关和医疗应用中使用的新可能性提供了新的可能性。MEMS设备在弹性系统中的应用允许更快的诊断，并显着促进医务人员的工作。MEMS加速度计构成此类系统的重要组成部分，尤其是那些用于监测失衡障碍患者的系统。此类传感器的正确设计对于收集有关患者运动的数据和确保整个系统的整体性能至关重要。本文介绍了专门用于跟踪患者运动的设备的三轴加速度计的设计和测量。它的主要重点是传感器的表征，比较不同的设计并评估包装和读取电路集成对传感器操作的影响。广泛的测试和测量结果确保了设计的加速度计正常工作，并允许在灵敏度/稳定性方面识别最佳设计。此外，仅当读数电路与MEMS传感器集成在相同的包装中时，提出的传感器作为应用加速度的函数的响应才能证明非常好的线性。
Medipost的电容3轴MEMS加速度计
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