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会话2:DWL66+充当极其通用的直接光刻工具,提供了实现高分辨率(最小结构大小为300 nm)并达到备注能够吞吐量的功能。在全球范围内已安装了大约350台这些机器。他们在教育机构,研究实验室和制造地点都需要各种需求。它们的主要目的在于为各种应用程序制造微型设备,包括微电子,传感器,MEMS(微电机机械系统),微流体和微观 - 光学。DWL66+提供的大部分应用程序均围绕2.5D微光学结构。这在很大程度上归因于其独特的直接刻板岩石岩石岩的能力,这是标准设定的能力。
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