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我们确定了三维超导射频（SRF）谐振器中的量子反应性的主要来源，以及由氧化尼伯群组成的二维透射量值：五级系统（TLS）损失的氯托氧化物中的氧气空位：氧气空位。通过探测顺序真空烘焙处理对大量NB NB SRF共振器RF性能以及使用飞行飞机二级离子质谱法（TOF-SIMS）的代表性NB样品的氧化物结构的影响，我们发现Cavity质量因子Q 0的非单调性进化与NB相互构图相关联。我们将这种作用定位在氧化物本身中，并通过通过湿氧化来揭示了缓解加重的TLS损失的缓解氧化氧化物，从而呈现了基础NB中扩散的间质氧的微不足道作用。我们假设五氧化五氧化物中的此类空缺是磁杂质的，并且是TLS驱动的RF损失的来源。
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