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软IC模式结合了触点AFM和共振AFM模式的优势，而无需缺点。的确，它完全适用于软或磨料样品，并允许定量电气和机械测量。软化模式间歇性地以频率低于谐振AFM中的频率远距离远距离远距离，从而使足够的时间测量局部机械和电气性能。软IC应用了特定的Z压电运动，该运动可以使尖端保持恒定力与表面接触，然后离开表面以测量下一个点。任何类型的技巧都可以与软IC一起使用。
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