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8:35 AM AM综合计量学OVADIA ILGAYEV（NOVA LTD）8:55 AM AM机器学习与基于物理学的CMP建模用于新兴技术的CMP建模Ruben Ghulghazaryan（SIEMENS工业软件）9:15 amnotight viorel balan（New Insight viorel balan）（new Insight viorel balan）（cea）。 Edge-Over-Erosion for Advanced CMP Processes Davit Piliposyan (Siemens Industry Software) 9:55 AM Morning Break Session I Session chair: Catharina Rudolph 10:15 AM Automatic Analysis of CMP Dishing in Via Arrays from AFM Images Jan Langer (Fraunhofer ENAS) 10:35 AM Next Generation Particle Detection in CMP Slurries Rashid Mavliev (Mavlipa LLC)上午10:55抛光垫的关键特征大小及其性能Mary McGahay（Smart Pad Inc）
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