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本报告的作者建议使用固体Xe颗粒的梯队作为目标。这个想法解决了来自激光等离子体几毫米的喷嘴的问题。由于高原-rayleigh的表面不稳定性的发展，Pellet-Target发电机中的液体氙气射流分解成液滴。从液体表面蒸发导致液滴冷却，并过渡到固态。以这种方式，形成了一个接一个地移动的固体颗粒流。对于液态氢[4]和Xe [5]，已成功证明了与光刻中所需的参数形成具有接近光刻所需的参数的梯队的可能性。该报告介绍了建模和实验活动的结果。
激光XE目标发生器的固体XE目标发生器...
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