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摘要:可编程光子集成电路(图片)是光学科学和工程中越来越重要的平台。但是,当前可编程图片主要是通过减法制造技术形成的,该技术限制了设备的重构性,并使原型制作成本昂贵且耗时。可重写的PIC架构可以避免这些缺点,其中图片在单个图片帆布上反复编写和删除。我们通过选择性激光撰写一层宽带间隙相变材料(PCM)SB 2 S 3,并使用低成本的台式设置来演示这种可重写的PIC平台。我们以高达300 nm的分辨率显示任意图案,并编写介电辅助波导,低光损耗为0.0172 db/μm。我们设想,使用这个廉价的台式平台可以在同一芯片上编写,测试和擦除数千个图片设计,而无需使用光刻/蚀刻工具或纳米制造工具,从而降低了制造成本并提高可访问性。关键字:可重写的光子集成电路,相变材料,低损失,激光写作

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