机构名称：
¥ 1.0
•表2详细介绍了每个GDS层的最小特征大小，最小间隙和最大特征宽度。•表2中列出了每个GDS层的目标临界维度。请注意，其他特征大小可能具有较小的维偏差。•建议至少5μm的波导之间的最小间距，以避免功率耦合。•GDS层之间至少有200 nm的重叠对于解释层之间的一致性公差至关重要。•在GDS第6层中绘制的所有结构（如果是光栅耦合器）必须与GDS第3层（波导）至少重叠200 nm，以说明对齐误差。•GDS层39（加热器丝）和GDS 41（加热器接触板）之间至少有10 µm的重叠，以实现最佳的加热器性能。•确保在GDS第6层中绘制的所有结构（如果是光栅耦合器）不会与GDS层39（加热器丝）或GDS 41（加热器接触板）重叠。
Cornerstone MPW设计规则：
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