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第一台国产光刻机在泽列诺格勒向俄罗斯工程师赠送
该装置的开发商、RUSNANO 集团的 JSC Zelenograd 纳米技术中心 (ZNTC) 首次为微电子行业的专家进行了国内开发的现场演示。
来源:俄罗斯纳米集团新闻“国内装置与国外同类装置有很大不同：首次使用固态激光器而不是汞灯作为辐射源，功率强大、节能、耐用、光谱更窄。这是国内微电子领域形成新能力的重要一步。”
JSC“ZNTC”
ZNTC强调该项目的战略重要性。该光刻机专为生产模拟芯片而设计，包括传感器、光子集成电路和传感器组件。这一技术解决方案旨在减少俄罗斯微电子对进口的依赖，确保国家的技术主权。
该开发是由 ZNTC JSC 在俄罗斯联邦工业和贸易部的支持下，在联盟国家计划的框架内与白俄罗斯企业 JSC Planar 合作进行的。所展示的装置将构成全系列完全本地化的 130 和 90 纳米标准光刻的基础。
作为本次研讨会商务活动的一部分，专家们还就350纳米和130纳米国产光刻机的前景进行了报告，活动合作伙伴则涵盖了其他先进光刻方法和相关工艺流程。
帮助
泽莱诺格勒纳米技术中心 (ZNTC) 是在纳米和微系统技术领域进行研发的领先创新公司之一。纳入RUSNANO集团基础设施和教育项目基金的投资网络。 ZNTC开展用于构建智能控制系统的物理量传感器和传感器、集成光学和光子器件基地的开发和生产。支持机器人、工业自动化、能源和医药等多个行业的 30 多家初创公司。
泽莱诺格勒纳米技术中心 投资网络有关纳米中心的更多信息 - zntc.ru
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