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科学家创建紧凑的激光器，可以彻底改变碎屑和量子设备
一种新的固态激光器可产生193 nm的光，用于精确芯片制造，甚至可以用轨道角动量产生涡旋束 - 这是可以改变量子技术和制造的第一个。深紫外线（DUV）激光器在非常短的波长下排放高能光，在半导体制造，高分辨率光谱，精密材料处理等领域起着至关重要的作用。
来源:SciTech日报一种新型固态激光器可产生用于精密芯片制造的 193 nm 光，甚至可以产生具有轨道角动量的涡旋光束——这是第一个可以改变量子技术和制造业的激光器。
深紫外 (DUV) 激光器可发射极短波长的高能光，在半导体制造、高分辨率光谱、精密材料加工和量子技术等领域发挥着至关重要的作用。与传统的准分子或气体放电激光器相比，DUV 激光器具有更好的相干性和更低的功耗，从而可以构建更小、更高效的系统。
固体激光器发展取得突破
在《Advanced Photonics Nexus》最近发表的一项研究中，中国科学院的研究人员宣布了一项重大突破：一种紧凑的固态激光系统，可以产生波长为 193 纳米的相干光。这种特定的波长是光刻中的关键工具，光刻是用于在硅晶片上蚀刻详细图案的过程，这对于构建现代电子设备至关重要。
先进光子学 Nexus 先进光子学193 nm 激光系统的工作原理
新的激光系统以 6 kHz 重复率运行，并使用定制的 Yb:YAG 晶体放大器来产生 1030 nm 的基础激光。该激光器分为两路：一路通过四次谐波产生转换为 258 nm 光束，输出功率为 1.2 瓦；另一路通过四次谐波转换为 1.2 瓦输出功率的 258 nm 光束。另一个为光学参量放大器供电，产生功率为 700 毫瓦的 1553 纳米光束。然后使用级联三硼酸锂 (LBO) 晶体将这两束光束组合起来，产生目标 193 nm 光，提供 70 毫瓦的平均输出和低于 880 MHz 的窄线宽。