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Zelenograd rusnano Group的微电子中心完成了OCD，以创建第一个以350 nm的分辨率创建第一个国内光po仪
litograph是生产微电路的关键要素，用于汽车，航空航天行业，工业自动化，消费电子产品等。
来源:俄罗斯纳米集团新闻光刻机是汽车、航空航天、工业自动化、消费电子和其他行业使用的微电路生产的关键要素。
安装功能
- 工作区域面积显着增加 - 22x22 毫米（相对于 3.2x3.2 毫米）。加工板材的最大直径大一级 - 200 毫米（相对于 150 毫米）。首次使用固态激光器 - 更强大、更节能、具有高耐用性和更窄的光谱。在世界实践中，汞灯被用作生产此类平版印刷品的辐射源。
行业组织和大型微电子生产企业代表参加了验收委员会。白俄罗斯 PLANAR 作为整个后苏联空间具有专业科学和技术背景的关键组织，作为联合执行者参与了这项工作的实施。
目前正在努力创建分辨率为 130 nm 的对准和投影曝光设置。工作预计于 2026 年完成。
帮助
泽莱诺格勒纳米技术中心 投资网络有关纳米中心的更多信息 - zntc.ru
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