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Zelenograd rusnano Group的微电子中心完成了OCD，以创建第一个以350 nm的分辨率创建第一个国内光po仪
litograph是生产微电路的关键要素，用于汽车，航空航天行业，工业自动化，消费电子产品等。
来源:俄罗斯纳米集团新闻
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