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光子学新领导者：钽酸锂是下一代光电路的关键
材料的独特性能可以带来技术突破。
来源:安全实验室新闻频道光子学新领导者：钽酸锂是下一代光电路的关键
材料的独特性能可以带来技术突破。
基于钽酸锂的新型光子集成电路技术有望显着提高成本和可扩展性，这是光通信和计算发展的重要一步。
硅光子集成电路 (PIC) 因其成本效益以及与现有半导体制造技术的集成而占据主导地位数十年。然而，其有限的电光调制带宽已成为一个严重的缺点。
基于铌酸锂的平台最近出现，由于其高普克尔斯比而提供了一个极好的替代方案，这对于高速光调制至关重要。但高昂的成本和生产困难限制了它们的商业应用。
在这种情况下，钽酸锂 (LiTaO3) 就应运而生，这种材料具有与铌酸锂类似的电光特性，但在可扩展性和成本方面更胜一筹。钽酸锂广泛用于 5G 射频滤波器，现已成为下一代光子集成电路的基础。
洛桑联邦理工学院Tobias Kippenberg教授和上海微系统与信息技术研究所欧欣教授开发了一种基于钽酸锂的新型PIC平台，并发表在《自然》杂志上。
自然研究人员开发了一种与绝缘体上硅生产线兼容的粘合基板的方法。然后，他们使用深紫外光刻和干法蚀刻技术来制造超高质量的光波导、调制器和微腔。