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没有谎言：NIST 揭露纳米级加工的超快工艺

2022年8月23日 12:00 33 Comments
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聚焦离子束 (FIB) 可以切割深度和宽度小至数十亿分之一米的复杂图案，是对微小工业零件进行解构和成像以确保其正确制造的重要工具。当离子束

来源:美国国家标准与技术研究院__纳米技术信息
NIST 研究人员已经证明，聚焦离子束 (FIB) 可以制造具有高分辨率的微型设备，而不会牺牲高速。左图：传统的 FIB 工艺需要窄的低电流离子束来制造具有高分辨率的石英玻璃中的微型灯塔透镜。由于光束的离子电流较低，因此该方法非常耗时。右图：在石英玻璃上放置一层氧化铬保护层使机械师能够使用电流大得多的离子束，从而使他们能够以 75 倍的速度制造相同的透镜。来源：Andrew C. Madison、Samuel M. Stavis/NIST
NIST 研究人员已经证明，聚焦离子束 (FIB) 可以制造具有高分辨率的微型设备，而不会牺牲高速。左图：传统的 FIB 工艺需要窄的低电流离子束来制造具有高分辨率的石英玻璃中的微型灯塔透镜。由于该束离子电流较低，因此该方法非常耗时。右图：在硅玻璃上放置一层氧化铬保护层，使机械师能够使用电流大得多的离子束，从而使他们能够以 75 倍的速度制造相同的镜片。来源：Andrew C. Madison、Samuel M. Stavis/NIST

NIST 研究人员已经证明，聚焦离子束 (FIB) 可以制造具有精细分辨率的微型设备，而不会牺牲高速。左图：传统的 FIB 工艺需要窄的低电流离子束来在具有精细分辨率的硅玻璃中制造微型灯塔镜片。由于该束离子电流较低，因此该方法非常耗时。右图：在硅玻璃上放置一层氧化铬保护层，使机械师能够使用电流大得多的离子束，从而使他们能够以 75 倍的速度制造相同的镜片。

图片来源：Andrew C. Madison、Samuel M. Stavis/NIST

图片来源： 先进功能材料
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