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Fraunhofer develops ‘resource-efficient’ measurement system for semiconductor wafer production
与潜水成像系统合作的光子微系统研究所(IPMS)在资源效率高的半导体制造中取得了一个重要的里程碑。通过在Fraunhofer IPM的洁净室中成功安装光学测量系统,在晶圆生产过程中质量控制所需的精力已大大减少。这项合作摊[…]