分子泵关键词检索结果

2025年2月4日 05:42

提高设备可靠性：在集成 EPX On-Tool 高真空泵 EPX180L 的涡轮分子泵上实施 xPump – 基于 AI/ML 的泵监控和预测性维护系统

Enhancing Equipment Reliability: Implementing xPump – AI/ML-Based Pump Monitoring & Predictive Maintenance System on Turbomolecular Pumps with Integrated EPX On-Tool High Vacuum Pump EPX180L

在带有集成 EPX On-Tool 高真空泵 EPX180L 的涡轮分子泵上实施 xPump - 基于 AI/ML 的泵监控和预测性维护系统

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2025年3月4日 05:46

增强设备可靠性：实施XPUMP - 基于AI/ML的泵监控和预测维护系统

Enhancing Equipment Reliability: Implementing xPump – AI/ML-Based Pump Monitoring & Predictive Maintenance System

在半导体制造和工业流程的快节奏世界中，设备可靠性是不可谈判的。失败或意外的停机时间可能会导致财务损失，产品缺陷和错过的截止日期。为了应对这些挑战，实施XPUMP（例如XPUMP）的先进预测维护系统至关重要。 XPUMP将AI/ML驱动的监视功能与尖端硬件相结合，可确保涡轮分子泵和干真空泵（如ESA系列干真空泵ESA25S）的最佳性能和延长的寿命。

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