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2025年10月28日 16:25

机器学习能够实时分析反应磁控溅射中氧化铁薄膜的生长

Machine learning enables real-time analysis of iron oxide thin film growth in reactive magnetron sputtering

筑波大学的研究人员开发了一种技术，可以实时估计氧化铁薄膜形成过程中的价态和生长速率。这项新技术是通过使用机器学习分析反应溅射过程中产生的等离子体发射光谱的全波长数据来实现的。有望实现薄膜沉积过程的高精度控制。