Why cooling chips to −60°c makes etching up to five times faster
经过十多年的发展，工程师们推出了一种新的半导体蚀刻方法，可以显着加快芯片制造速度，同时减少对环境的影响。该工艺由 Tokyo Electron Miyagi Ltd. 开发，并与名古屋大学的研究人员合作研究，可以将硅晶圆上的材料去除速度提高五倍[…]为什么将芯片冷却至 -60°c 可使蚀刻速度提高五倍的帖子首先出现在 Knowridge Science Report 上。
