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氧化膜上铜的原子层沉积
通过 ALD 循环次数可以实现区域选择性沉积 (ASD)。然而，对薄膜生长的横向控制，即区域选择性沉积 (ASD)，对于 ALD 来说要困难得多。尤其微电子应用需要 ASD 来满足制造要求，因为关键特征尺寸缩小到纳米级，而且通过自上而下的光刻方法进行图案化变得越来越具有挑战性。[2,3] 光刻掩模需要以纳米级精度对准，即使是最轻微的掩模错位也必然会导致边缘位置误差 (EPE)。在 ALD 中实现 ASD 的传统方法可分为三大类：1) 非生长区域钝化；2) 生长区域的活化；3) 使用固有选择性沉积化学。在类别 (1) 中，非生长区域用钝化自组装单分子层 (SAM) 或聚合物膜进行功能化。 [4,5] 通常，当前体吸附在非理想组装或部分降解的 SAM 上时，会发生选择性损失。吸附在 SAM 上的前体分子作为后续前体剂量的反应位点，从而丧失选择性。[2] 在下一个处理步骤之前，还必须完全去除钝化层。在类别 (2) 中，生长区域表面在 ASD 之前进行功能化，以实现薄膜生长。[6–7] 然后，薄膜仅沉积在功能化表面上，而其他区域保持清洁。这种方法规定了非生长和功能化生长表面上的薄膜成核的明显对比。因此，它主要限于金属 ALD 工艺，因为金属表面比其他表面更容易成核。此外，需要仔细控制剂量以维持生长选择性。由于 ASD 的活化层被 ALD 膜掩埋，因此下一个处理步骤可以直接进行。在类别 (3) 中，即固有选择性 ALD，选择性完全由前体与基底上不同材料表面之间的反应决定。在正在制造的薄膜器件结构表面上，不同的材料暴露于 ALD 前体，但薄膜仅生长在某些优选材料上，从而定义生长区域。这是真正的自下而上的处理，将整体图案化步骤减少到最低限度。由于图案自对准，因此排除了 EPE。出于这些原因，(3) 是 ASD 的一个非常有吸引力的选择，但控制表面化学以在几个 ALD 循环中保持 ASD 极具挑战性。因此 (3) 主要限于金属的 ASD。[8–9]
推荐引用 推荐引用 Turco，Kyle Travis，“联合防区外武器 (JSOW) 移动目标能力的发展：AGM-154 Block Three 计划。”田纳西大学硕士论文，2006 年。https://trace.tennessee.edu/utk_gradthes/1819
目录 第一章：简介................................................................................................................ 1 JSOW Block Three 目标集................................................................................................................... 2 时间关键型目标确定和杀伤链考虑因素................................................................................................... 3 JSOW Block Three 任务需求定义............................................................................................................. 5 分析范围和局限性.................................................................................................................................... 9 第二章：JSOW Block Three 假设.................................................................................................... 11 背景.................................................................................................................................................... 11 目标位置误差和武器圆概率误差 (CEP) 讨论.................................................................................................... 13 传感器假设.................................................................................................................................................... 18 飞机假设.................................................................................................................................................... 21 数据链假设.................................................................................................................................................... 25 总结.................................................................................................................................................................... 26 第三章：JSOW Block Three 要求的制定..................................................................................................... 27 简介..................................................................................................................................................... 27 作战概念发展................................................................................................................ 28 能力和杀伤链实施................................................................................................................... 32 其他要求................................................................................................................................... 35 通用武器模型............................................................................................................................ 36 第四章：替代方案的开发和分析......................................................................................................... 38 简介......................................................................................................................................................... 38 导引头替代方案.................................................................................................................................... 38 数据链替代方案.................................................................................................................................... 47 F/A-18 超级大黄蜂数据链能力............................................................................................................................................................. 47 武器数据链波形替代方案 ...................................................................................................... 54 背景 .............................................................................................................................. 54 JSOW Block Three 数据链替代方案 .............................................................................. 56 武器数据链网络 (WDLN) 实施替代方案 ............................................................................. 62 武器数据链硬件替代方案 ............................................................................................. 63 双向数据链注意事项 ............................................................................................. 68 数据链安全性注意事项 ............................................................................................. 69 制导电子单元替代方案 ............................................................................................................. 71 任务规划替代方案 ............................................................................................................................. 72 替代方案分析摘要 ............................................................................................................................. 74 建议设计摘要 ............................................................................................................................. 77 关键技术计划 ............................................................................................................................. 78 第五章：JSOW Block Three 实施 ............................................................................. 81 F/A-18 飞行员座舱车辆接口设计 ............................................................................................. 81 开发和测试时间线……................................................................................................................ 88 JSOW Block Three 演示阶段 ...................................................................................................... 90 演示 1：反水面作战 (ASuW) .............................................................................................. 90 SIMEX：第三方目标瞄准演示 ............................................................................................. 91 演示 2：............................................................................................................................. 92 其他演示 ............................................................................................................................. 9256 武器数据链网络 (WDLN) 实施替代方案................................................................................. 62 武器数据链硬件替代方案.................................................................................................... 63 双向数据链注意事项.................................................................................................... 68 数据链安全性注意事项.................................................................................................... 69 制导电子单元替代方案....................................................................................................... 71 任务规划替代方案....................................................................................................................... 72 替代方案分析摘要.................................................................................................................... 74 推荐设计摘要.................................................................................................................................... 77 关键技术计划.................................................................................................................................... 78 第五章：JSOW Block Three 实施............................................................................. 81 F/A-18 飞行员座舱车辆接口设计............................................................................................. 81 开发和测试时间表...................................................................................................................... 88 JSOW Block Three 演示阶段..................................................................................................... 90 演示 1：反水面作战 (ASuW)............................................................................................. 90 SIMEX：第三方定位演示 ...................................................................................................... 91 演示 2：...................................................................................................................... 92 其他演示 ...................................................................................................................... 9256 武器数据链网络 (WDLN) 实施替代方案................................................................................. 62 武器数据链硬件替代方案.................................................................................................... 63 双向数据链注意事项.................................................................................................... 68 数据链安全性注意事项.................................................................................................... 69 制导电子单元替代方案....................................................................................................... 71 任务规划替代方案....................................................................................................................... 72 替代方案分析摘要.................................................................................................................... 74 推荐设计摘要.................................................................................................................................... 77 关键技术计划.................................................................................................................................... 78 第五章：JSOW Block Three 实施............................................................................. 81 F/A-18 飞行员座舱车辆接口设计............................................................................................. 81 开发和测试时间表...................................................................................................................... 88 JSOW Block Three 演示阶段..................................................................................................... 90 演示 1：反水面作战 (ASuW)............................................................................................. 90 SIMEX：第三方定位演示 ...................................................................................................... 91 演示 2：...................................................................................................................... 92 其他演示 ...................................................................................................................... 92................................................................................ 77 关键技术项目 ...................................................................................................................... 78 第五章：JSOW Block Three 实施 ........................................................ 81 F/A-18 飞行员座舱飞行器界面设计 ........................................................................................ 81 开发和测试时间表................................................................................................................... 88 JSOW Block Three 演示阶段 ...................................................................................................... 90 演示 1：反水面作战 (ASuW) ............................................................................................. 90 SIMEX：第三方目标演示 ............................................................................................. 91 演示 2：.................................................................................................................... 92 其他演示 ............................................................................................................................. 92................................................................................ 77 关键技术项目 ...................................................................................................................... 78 第五章：JSOW Block Three 实施 ........................................................ 81 F/A-18 飞行员座舱飞行器界面设计 ........................................................................................ 81 开发和测试时间表................................................................................................................... 88 JSOW Block Three 演示阶段 ...................................................................................................... 90 演示 1：反水面作战 (ASuW) ............................................................................................. 90 SIMEX：第三方目标演示 ............................................................................................. 91 演示 2：.................................................................................................................... 92 其他演示 ............................................................................................................................. 92
和多波束声纳后向散射图像
(https://maps.ccom.unh.edu/portal/apps/webappviewer/index.html?id=28df035fe82c423cb3517295d9 bbc24c#. 2021 年 12 月 10 日) ........................................................................................................................... 20 图 19：R/V Gulf Surveyor (http://ccom.unh.edu/facilities/research-vessels/rv-gulf-surveyor)。 .......... 21 图 20：RVGS 图，其中包含关键位置和拖曳点相对于船舶参考点的偏移（未按比例绘制）。 ............................................................................................................................. 21 图 21：安装了拖缆的 R/V Gulf Surveyor 甲板上的 Klein 4K-SVY 侧扫。 ............................................................................................. 23 图 22：具有声学阴影、距离尺度、第一次回波和水柱的典型 SSS 数据示例。 ........................................................................................................................................................... 24 图 23：带有集成表面声速探头的 Kongsberg EM2040P MBES。 (https://www.kongsberg.com/maritime/products/ocean-science/mapping-systems/multibeam-echo- sounders/em-2040p-mkii-multibeam-echosounder-max.-550-m/) ........................................................................... 25 图 24：安装在 R/V Gulf Surveyor 中心支柱上的 EM2040P（照片：NOAA 的 Patrick Debroisse 中尉）。 ........................................................................................................................................... 26 图 25：在 50m 范围内布置用于位置置信度检查的 SSS 线。 ........................................................................... 27 图 26：相对于 MBES 目标位置（红色）的 SSS 接触位置（蓝色）。 ......................... 28 图 27：地理参考框架和船舶参考框架中的接触位置误差。接触位置主要位于 MBES 位置的东面。 ......................................................................... 28 图 28：应用地图校正后的 SSS 接触位置。 ......................................................................... 29 图 29：应用地图校正后，在地理和船舶参考框架中看到的 SSS 接触位置 ............................................................................................................................. 29 图 30：测量区域，其中 60m 和 80m 线路平面图以红色显示。 ........................................................................... 30 图 31：掩盖马赛克（左）隐藏接触，透过马赛克（右）显示接触。 ...... 32 图 32：使用自动所有数据，显示应用增益和定位校正之前的所有线路的 SSS 马赛克。覆盖在 RNC 13283 上。...................................................................................................... 33 图 33：使用 Auto-All 数据可视化应用地图校正和 EGN 后的 SSS。....... 34 图 34：DTM（顶部）显示折射伪影，与 ping 数据（底部）中看到的伪影相同。...................................................................................................................................................................... 35 图 35：EM2040P MBES 数据的全覆盖 DTM............................................................................................................. 36 图 36：EM2040P 数据从天底滤波到 45º 后的 DTM。............................................................................. 37 图 37：EM2040P 以 300 kHz 和 50cm 分辨率收集的 MBAB。西北采集点在左侧，东南采集点在右侧。后向散射强度以分贝表示，默认比例为 10 到 -70dB。 ........................................................................................................................... 38 图 38：调整后的 NW MBES 数据可视范围为 -4 至 -28db.................................... 39 图 39：SSS 接触位置（左）和 MBES 假定的“真实”位置（右）。........................................ 40 图 40：应用地图校正后的 SSS 接触位置。原始 SSS 位置以绿色标记标注。............................................................................................................. 41 图 41：地图校正前（左）和地图校正后（右）的另一个示例，最初显示两条独立的龙虾笼线。............................................................................................. 41 图 42：应用地图校正后，两条 SSS 线之间的差异约为 7.5 米。红色框突出显示了沙波应重叠的区域。............................................................................. 42 图 43：NW 采集站点：叠加之前的 MBES（顶部）、SSS（中）和 MBES 后向散射（底部）。 ........................................................................................................................................................... 44 图 44：SE 采集点：叠加前的 MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）。 ........................................................................................................................................... 45左侧为西北方向采集点，右侧为东南方向采集点。后向散射强度以分贝表示，默认范围为 10 至 -70dB。 ........................................................................................................................... 38 图 38：调整后的西北方向 MBES 数据可视范围为 -4 至 -28db........................................ 39 图 39：SSS 接触位置（左）和 MBES 假定的“真实”位置（右）。............................................................. 40 图 40：应用地图校正后的 SSS 接触位置。原始 SSS 位置以绿色标记标注。 .................................................................................................................... 41 图 41：地图校正前（左）和地图校正后（右）的另一个示例，最初显示两条独立的龙虾笼线。 .................................................................................................................... 41 图 42：应用地图校正后，两条 SSS 线之间的差异约为 7.5 米。红框突出显示了沙波应该重叠的区域。 ........................................................................... 42 图 43：NW 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 44 图 44：SE 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 45左侧为西北方向采集点，右侧为东南方向采集点。后向散射强度以分贝表示，默认范围为 10 至 -70dB。 ........................................................................................................................... 38 图 38：调整后的西北方向 MBES 数据可视范围为 -4 至 -28db........................................ 39 图 39：SSS 接触位置（左）和 MBES 假定的“真实”位置（右）。............................................................. 40 图 40：应用地图校正后的 SSS 接触位置。原始 SSS 位置以绿色标记标注。 .................................................................................................................... 41 图 41：地图校正前（左）和地图校正后（右）的另一个示例，最初显示两条独立的龙虾笼线。 .................................................................................................................... 41 图 42：应用地图校正后，两条 SSS 线之间的差异约为 7.5 米。红框突出显示了沙波应该重叠的区域。 ........................................................................... 42 图 43：NW 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 44 图 44：SE 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 45........... 42 图 43：NW 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 44 图 44：SE 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 45........... 42 图 43：NW 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 44 图 44：SE 采集点：MBES（顶部）、SSS（中间）和 MBES 背向散射（底部）在叠加之前。 ............................................................................................................................................................. 45